GR.TF系列微型真空立式管式爐具有合理的性能設計，集多項功能于一身，安全性，可靠性，實用性均達理想效果。

1.高溫度1100℃，加熱區(qū)為200mm。

2.爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼之間裝有風機，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。

3.爐管采用99高純剛玉管或者高純石英管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

4.爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的進口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，加熱爐膛由左右兩部分組成，其中右部分爐膛可整體向右翻轉(zhuǎn)110℃，方便取放實驗物料、更換爐管。加熱元件采用瑞典康泰爾電阻絲。

5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術，儀表控制精度為±1℃，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序，具有超高溫報警功能，具有熱電偶損壞斷電功能，具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。

6、微型真空立式管式爐升溫速度為0-20℃/min，可編寫30段自動升溫程序，可控硅控制，配備數(shù)顯LED電壓表、電流表。

7、可選配RS-485通訊接口，數(shù)據(jù)管理軟件，具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線，校正溫度偏離誤差的功能，可以管理多臺設備和遠程故障診斷分析。

8、多種安全防護設計，安全性能好，使用壽命長。

9.真空度可以達到10pa（機械泵），如果需要更高真空度可以選擇分子泵，達到6.67x10-3pa。

選配配置：

1、玻璃轉(zhuǎn)子流量計、質(zhì)子流量計和進出口管道

2、真空泵（機械泵、分子泵）

3、安裝調(diào)試，培訓

4、剛玉坩堝

5、備品備件

6、報警器（超溫、設備異常）與蜂鳴器（設備運行結(jié)束提示）

7、自動進氣（氣體保護）、自動放氣（超壓）、自動抽真空

8、一路及多路CVD供氣系統(tǒng)

9、真空計