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VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì)，耐腐蝕且使用壽命長(zhǎng)，可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能，尤其適用于對(duì)紫外光敏感的膠體，可使涂覆后的膠體迅速固化；此外紫外燈還具有聚合作用，可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有膠塞，當(dāng)腔體需要密閉的環(huán)境時(shí)應(yīng)將膠塞堵好。腔體帶有進(jìn)氣孔，可在勻膠過(guò)程中對(duì)腔體通保護(hù)氣。樣件采用真空吸附方式進(jìn)行固定，操作簡(jiǎn)單，使樣件取放自如。配用定心工具可使樣件很容易放在吸盤(pán)中心位置，以減少偏心帶來(lái)的震動(dòng)，避免造成飛片。根據(jù)樣件的大小可以選擇不同規(guī)格的吸盤(pán)，吸盤(pán)更換簡(jiǎn)單方便。本機(jī)使用精密直流無(wú)刷電機(jī)，啟動(dòng)快、速度穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

產(chǎn)品型號(hào)	VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater
主要特點(diǎn)	1、采用真空吸盤(pán)固定樣件，樣件固定牢固且取放簡(jiǎn)單方便；真空吸盤(pán)大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 2、該機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能，紫外光的強(qiáng)度可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。 3、本機(jī)上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有注液孔塞，當(dāng)腔體需要密閉環(huán)境時(shí)可使用該孔塞將孔密閉。 4、該機(jī)帶有保護(hù)氣接孔，可對(duì)腔體通保護(hù)氣。 2、電機(jī)部分、紫外燈光控制部分分別使用獨(dú)立的電源進(jìn)行控制。電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)采用單板機(jī)+液晶顯示屏進(jìn)行控制，數(shù)值顯示更直觀可靠，轉(zhuǎn)數(shù)在500-10000RPM內(nèi)可調(diào)；紫光燈采用抗干擾性強(qiáng)的PLC控制器進(jìn)行控制。 3、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要，可分別進(jìn)行時(shí)間1、轉(zhuǎn)速1、時(shí)間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后，涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時(shí)間1時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開(kāi)。當(dāng)時(shí)間1結(jié)束后，涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間2階段運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。 3、紫光燈真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。 5、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC220/110V 50/60Hz 2、電機(jī)功率： 350W/24V 3、速度范圍：500-10000rpm 4、可儲(chǔ)存1組程序，程序包含2個(gè)運(yùn)行階段，每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍：0-600s 5、吸盤(pán)規(guī)格：φ19mm φ60mm 6、保護(hù)氣進(jìn)氣孔規(guī)格：φ8㎜ 7、真空氣孔規(guī)格：φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍：8-30W 9、紫光燈時(shí)間設(shè)置范圍：1-800S 10、外形尺寸：450×280×340mm 11、重量：20Kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤(pán)	2件（φ19 mm和φ60 mm）
	2	中心定位器	1件
	3	無(wú)油真空泵	1臺(tái)
可選配件	進(jìn)口移液器國(guó)產(chǎn)移液槍真空吸盤(pán)