德國Sentech 離子刻蝕與沉積系統(tǒng) 200 RIE
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沈陽科晶自動化設備有限公司
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更新時間:2023-02-15 08:07:52瀏覽次數(shù):198次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線精密液體氣相發(fā)生器
產(chǎn)品簡介:精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制,流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠?qū)С龆喾N液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研究設備。
精密液體氣相發(fā)生器操作視頻
產(chǎn)品型號 | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點 | 1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過浮子流量計控制。 4、配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5、配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。 7、已通過CE認證。 |
技術參數(shù) | 1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率:1000W 3、蠕動泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調(diào)) 4、工作溫度:300℃ 5、控溫精度:±1℃ 6、浮子流量計:0-2000ml/min(可調(diào)) 7、出氣口:外徑1/4″ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg |
可選配件 | 加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)
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