在近代物理學(xué)中，等離子體為一種較為普通的概念，為在一定程度上被電離(電離度比0.1%要大)的一種氣體，其中陽(yáng)離子與電子的濃度處于平衡狀態(tài)，從宏觀上來(lái)講，是一種呈電中性的物質(zhì)。
利用電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，通過(guò)處于激發(fā)態(tài)的待測(cè)元素原子回到基態(tài)時(shí)發(fā)射的特征譜線分析待測(cè)元素的儀器，被稱(chēng)為電感耦合等離子發(fā)射光譜儀。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的原理如下
高頻電磁場(chǎng)在矩管外高頻線圈產(chǎn)生，在高頻電磁場(chǎng)中，高純氬氣失去電子，該電子對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行轟擊，樣品的各元素發(fā)生躍遷，具有一定的特征譜線的光被發(fā)射出來(lái)。
這種特征譜線利用檢測(cè)器探測(cè)出來(lái)，并且其強(qiáng)度也被檢測(cè)出來(lái)，該元素能夠被定性分析以及該元素的濃度能夠被定量計(jì)算。
樣品的各元素產(chǎn)生躍遷，發(fā)射出具有一定的特征譜線的光。通過(guò)檢測(cè)器探測(cè)這種特征譜線并檢測(cè)其強(qiáng)度，可以定性分析元素和定量計(jì)算該元素的濃度。
電感耦合等離子體為通過(guò)高頻電流從感應(yīng)線圈經(jīng)過(guò)使得高頻電磁場(chǎng)產(chǎn)生，從而使工作氣體形成等離子體，并且火焰狀放電(等離子體焰炬)呈現(xiàn)出來(lái)，溫度達(dá)到10000K時(shí)，為一個(gè)具有良好的蒸發(fā)-原子化-激發(fā)-電離性能的光譜光源。
而且因?yàn)檫@種等離子體焰炬的結(jié)構(gòu)呈環(huán)狀，對(duì)于從等離子體zhong心通道進(jìn)樣并且使得火焰維持穩(wěn)定具有積極的作用;較低的的載氣流速(比1升/分低)就能夠?qū)CP穿透，如果在zhong心通道使樣品停留2-3毫秒的時(shí)間，能夠蒸發(fā)、原子化。
和任何火焰或電弧火花的溫度相比較，ICP環(huán)狀結(jié)構(gòu)的zhong心通道的溫度都要更高，為原子、離子的激發(fā)溫度，在中心通道內(nèi)，分析物被間接加熱，對(duì)ICP放電性質(zhì)有著較小的影響。
ICP光源又是一種光薄的光源，有著較小的自吸現(xiàn)象，并且是無(wú)電極放電，無(wú)電極沾污。這些特點(diǎn)使ICP光源的分析性能非常好，和一個(gè)理想分析方法的要求相符合。
