Solarius Atlas三維形貌輪廓測(cè)量是應(yīng)用于品保和過程控制的獨(dú)立模塊化表面3D測(cè)量設(shè)備。基于用戶的的具體需求，Atlas可配備不同類型3D表面測(cè)量傳感器，從而使其成為滿足各種測(cè)量要求的理想設(shè)備?；贏tlas強(qiáng)大的靈活性，各種不同的材料以及復(fù)雜的幾何結(jié)構(gòu)都能被精確掃描。Atlas的軟件系統(tǒng)支持生產(chǎn)環(huán)境下的自動(dòng)化高效測(cè)量。其軟件解決方案結(jié)合了兩種軟件工具：一種是可編程的測(cè)量工具，另一種是高靈活性的分析軟件。這種*的集成方式是研發(fā)、失效分析和小批量半自動(dòng)量測(cè)的理想配置。
易于自動(dòng)化
極速測(cè)量
靈活多樣的傳感器配置
大測(cè)量平臺(tái)
定制化測(cè)量程序
靈活的分析工具
Solarius Atlas三維形貌輪廓測(cè)量平臺(tái)是一套配置隔震裝置的獨(dú)立系統(tǒng)，其平面測(cè)量范圍高達(dá)400x400mm。根據(jù)需求可配置共聚焦、白光干涉及線激光三角傳感器；對(duì)應(yīng)不同類型的傳感器，其高度方向的分辨率范圍從10nm至200um。其中白光干涉?zhèn)鞲衅髂軌蛞愿哌_(dá)4um的分辨率在0.13s內(nèi)完成80,000點(diǎn)的高速掃描。Atlas在數(shù)據(jù)采集以及分析上提供多種軟件選項(xiàng)，其中包括一套用于自動(dòng)化批量重復(fù)測(cè)量的程序創(chuàng)建和管理工具。