一、 用途 

      硅外延用氫氣純化器引進*進技術，為國內(nèi)各*生產(chǎn)的硅片提供了高效有力的支持，氫氣的純度直接影響硅片的質(zhì)量，硅外延氫氣純化器利用鈀擴散原理是氫氣純度提高到99.9999%以上，從而有效提高硅外延的質(zhì)量，鈀擴散提氫成為氫氣純化當中較好的，為各大專院校、科研單位、石油化工、輕工、電子、制藥、環(huán)保監(jiān)測、醫(yī)療衛(wèi)生等單位，化驗室、實驗室、分析室，提供粗氫精制成高純氫而研制的一種數(shù)控鈀擴散純儀。

二、主標要技術指標：

      氫氣純度：99.9999%                     zui大純化量：5-15立升/分鐘

      原料氫壓力：≤0.8MPa                   純化氫壓力：可調(diào)

      原料氫含氫量：不小于50%                zui高使用溫度：≤400℃

三、工作原理

     氫分子和氫原子是所有化學元素中zui小的分子和原子，如把鈀的單晶結(jié)構考慮成為面心立方體，立方體的八個角為八個鈀原子所占有，六個面的中心部分為六個鈀原子所占有，在這個鈀原子的密集堆積中，只有在鈀管表面能發(fā)生離解的氫原子才能通過，而其它元素的原子和分子，其直徑都大于鈀原子密集堆積的間隙，故不能通過。鈀擴散法純化氫就是利用這個原理，擴散透過鈀管的氫，其純度*。

 四、硅外延用氫氣純化器注意事項：

    在使用時，裝置應放在通風良好，堅固平坦的工作臺上，以防震動，切忌室內(nèi)氫含量達到燃燒或爆炸極限（不能高于4%），本儀器的控溫部分設有超溫報警功能，當溫度超過所需溫度時，會發(fā)出報警聲，應立即停機檢查，以防爐內(nèi)溫度過高而燒壞鈀管，本儀器使用前必需用原料氣作*置換系統(tǒng)后，才能通電，以防系統(tǒng)內(nèi)置換不干凈，形成易燃易爆的H2—O2混合氣。