等離子體清洗的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。
為保證銅引線框架即銅支架在打線和封塑時可靠性，提升良率，通常會使用等離子清洗機對銅支架進行等離子清洗，其等離子處理的效果受多重因素影響，以往大家關(guān)注會集中在銅支架自身以及所選用的等離子清洗機設(shè)備及參數(shù)。但其實料盒本身的幾方面因素也會對等離子處理的效果有不小的影響。
1、規(guī)格尺寸
不同規(guī)格尺寸的銅引線框架所對應(yīng)使用的料盒尺寸也是不同的，而料盒尺寸對等離子清洗處理的效果有一定關(guān)系，通常來說，料盒的尺寸越大，等離子體進入料盒內(nèi)部的時間就會越長，對等離子處理的均勻性及效果有所影響。
2）間距大小
這里所談及的間距主要是指每層銅引線框架之間的距離，間距越小，等離子清洗銅引線框架的效果和均勻性會相應(yīng)地變差。
3）槽孔特點
將銅引線框架放入料盒進行等離子清洗處理，假如四面不開槽，就會形成遮擋，等離子體很難進入，影響處理的效果，與此同時還需要的是屏蔽效應(yīng)、開槽孔的位置、槽孔大小。
此外，料盒的蓋子是不是要蓋，以及什么時候蓋，這些都對等離子清洗效果有影響。
