賽奧特（SAT)等離子刻蝕   SAT 510

一 應(yīng)用領(lǐng)域  

賽奧特（SAT)等離子刻蝕適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、高分子科學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.

二 主要實(shí)驗(yàn)應(yīng)用  

1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物  8.疏水實(shí)驗(yàn)  9.沉積實(shí)驗(yàn)  10.形成新的基團(tuán)  11.鍍膜前處理等

三 技術(shù)特點(diǎn)  

※1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得設(shè)備在智能控制下有了可靠的依據(jù).

※2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門結(jié)構(gòu)，帶有觀察窗，材料為6061材質(zhì).

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

※5.電容式（CCP）激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.

6.采用觸摸屏顯示控制，手動(dòng)，自動(dòng)兩種模式任意切換.

7.程序化設(shè)計(jì)，預(yù)先編輯好程序，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).

8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng)，使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團(tuán)。

9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),在日常使用中保持儀器清潔即可。

四 技術(shù)規(guī)格  

1.樣品腔體尺寸：255(深度)X155（直徑）mm ，不銹鋼材質(zhì).

2.放置樣品托盤尺寸:150(寬)X230（長(zhǎng)）mm，材質(zhì)：6061鋁氧化本色

※3.射頻頻率：40KHz  

※4.射頻功率:300W，0到300W可調(diào)，精度：1瓦.

※5.輝光放電功率：10W----300W

6.輝光放電時(shí)間設(shè)定：1秒到99分59秒.

※7.氣路設(shè)置:3氣路（2路進(jìn)氣，一路放空）.

※8.工作氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào)，可設(shè)定，范圍：0--180秒.

※9.進(jìn)氣控制：兩路浮子流量計(jì)控制.

10.工作氣體:空氣/氮?dú)?span>/氬氣/氮?dú)浠旌蠚?span>/氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)，接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。

11.進(jìn)氣壓力：通入空氣時(shí)常壓，接入鋼瓶時(shí)，鋼瓶進(jìn)氣壓力調(diào)整到0.1-0.2Mpa

12.供電電源：~220V／50Hz

13.外形尺寸（寬*深*高）mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機(jī)重量（約）：25Kg

五 真空泵

標(biāo)準(zhǔn)配置為機(jī)械油泵：1）抽速:2升/秒 2）極限壓強(qiáng)：6*10-2帕   3）噪音;≤66db 4）抽氣KF16法蘭接口，排氣口KF25接口 5）電源線為陰插線

六 基本配置  

主機(jī)+真空系統(tǒng)（雙極機(jī)械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭）、外加氣體軟管、樣品托盤、說(shuō)明書(shū)、電源線、合格證

七選配件

（一）機(jī)械油泵   型號(hào)：VRD-8  

1.抽速:2.2升/秒  2.極限壓強(qiáng)：≤5*10-2帕  3.噪音;≤56db   4.工作環(huán)境溫度：5—45

（二）干泵（1）  型號(hào)：GWSP150

1.抽速:2升/秒  2.極限壓強(qiáng)：≤6帕    3.噪音;≤57db    

4.工作環(huán)境溫度：5--45℃  

    干泵（2）型號(hào)： SPH10

1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強(qiáng)：≤2帕  3.噪音;≤55db

4.工作環(huán)境溫度：5--45℃