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Pluto-Atmos等離子涂覆鍍膜系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2022-08-22 15:17:32瀏覽次數(shù):347次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pluto-Atmos 等離子涂覆鍍膜系統(tǒng)是一種基于頻率為13.56MHz(射頻)等離子體技術(shù)的新型表面涂覆設(shè)備。
是一種強(qiáng)大的新涂層工藝,利用大氣壓等離子體設(shè)備在任何大小或形狀的樣品上通過(guò)掃描的方式獲得均勻的涂層。

詳細(xì)介紹

Pluto-Atmos 等離子涂覆鍍膜系統(tǒng)是一種基于頻率為13.56MHz(射頻)等離子體技術(shù)的新型表面涂覆設(shè)備。是一種強(qiáng)大的新涂層工藝,利用大氣壓等離子體設(shè)備在任何大小或形狀的樣品上通過(guò)掃描的方式獲得均勻的涂層。Pluto-Atmos可以沉積多種材料涂層,包括碳基和硅基聚合物、玻璃、氮化硅、金屬氮化物和碳化物等。

 

Pluto-Atmos 等離子涂覆鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

Pluto-Atmos是一種基于頻率為13.56MHz(射頻)等離子體技術(shù)的新型表面涂覆設(shè)備。

是一種強(qiáng)大的新涂層工藝,利用大氣壓等離子體設(shè)備在任何大小或形狀的樣品上通過(guò)掃描的方式獲得均勻的涂層。

Pluto-Atmos可以沉積多種材料涂層,包括碳基和硅基聚合物、玻璃、氮化硅、金屬氮化物和碳化物等。

這些涂層的厚度從50nm到3.0um不等,可用于防潮,耐磨、防腐蝕和許多其他應(yīng)用。

等離子體中的電子(不是熱量)激發(fā)反應(yīng)物進(jìn)行沉積,使涂層過(guò)程在相對(duì)較低的溫度下進(jìn)行。

薄膜生長(zhǎng)速率從0.1um/分鐘到10.0um/分鐘不等。

需要注意的是,常壓等離子體涂覆的速率比物理氣相沉積要慢。

然而,正因?yàn)樵S多材料不易蒸發(fā)或?yàn)R射,在這個(gè)時(shí)候,等離子涂層是一個(gè)比較理想的方法。

 

技術(shù)參數(shù):

1.頻率:13.56MHz 射頻發(fā)生器  功率0~500W 自動(dòng)阻抗匹配電源

2.噴頭直徑40mm,有效工作面積:直徑20mm,

3.工作距離2-20mm

4.氣源壓力:2mp

5.控制:PLC+

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

使用Pluto-Atmos等離子涂層的設(shè)備可以沉積許多不同的材料,通過(guò)選擇合適的活性氣體,如氧氣、氮?dú)?、氫氣等,和合適的反應(yīng)前驅(qū)體,如SiL4, AlL3, TiL4 PtL6(L表示是一個(gè)穩(wěn)定且有揮發(fā)性分子基團(tuán)),可以得到適合的沉積物。

如果想要沉積較薄的聚合物的薄膜,可以使用一個(gè)特別設(shè)計(jì)的單體,如四甲基硅烷。

具體的需求,需要大量的實(shí)驗(yàn)來(lái)優(yōu)化設(shè)計(jì)和工藝條件。

我們可以幫助客戶在我們的實(shí)驗(yàn)室里,一起確定具體的涂料所需的工藝條件。

Pluto-Atmos涂覆系統(tǒng)為薄膜涂層提供了一種革命性的新方法。

某些新材料過(guò)去只能在昂貴的真空系統(tǒng)中生產(chǎn),現(xiàn)在可以用低成本的手持等離子設(shè)備涂覆在幾乎任何結(jié)構(gòu)上。

 


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