當(dāng)前位置：武漢賽斯特精密儀器有限公司>>半導(dǎo)體測(cè)試儀器解決方案>>全自動(dòng)電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP-500）

全自動(dòng)電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP-500）

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地武漢市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：左斌斌查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2020-11-16 22:08:21瀏覽次數(shù)：677次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  半導(dǎo)體測(cè)試儀器解決方案

半導(dǎo)體前道儀器設(shè)備

半導(dǎo)體后道儀器設(shè)備

半導(dǎo)體檢測(cè)儀器設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

  其他品牌

武漢賽斯特精密儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：1668條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：左斌斌（銷售經(jīng)理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

加工定制	是

本設(shè)備配有下游恒壓控制系統(tǒng)，通過薄膜規(guī)測(cè)量（進(jìn)口件），可調(diào)節(jié)閥控制，使真空室達(dá)到恒壓,從而提高工藝穩(wěn)定性。
全自動(dòng)電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP-500）

詳細(xì)介紹

一. 系統(tǒng)描述

本設(shè)備為單室高真空系統(tǒng)，它主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等組成。

真空系統(tǒng)由一個(gè)分子泵（抽速600升/秒）+ 一個(gè)直聯(lián)旋片式真空泵（抽速9升/秒）組成抽氣系統(tǒng), 將真空室抽至高真空, 分子泵與真空室之間裝有一個(gè)電動(dòng)可調(diào)節(jié)閥電動(dòng)插板閥, 直聯(lián)旋片式真空泵為真空室予抽泵及分子泵前級(jí)泵。直聯(lián)旋片式真空泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼硬管及波紋管連接, 并裝有電磁氣動(dòng)隔斷閥。

本設(shè)備配有下游恒壓控制系統(tǒng)，通過薄膜規(guī)測(cè)量（進(jìn)口件），可調(diào)節(jié)閥控制，使真空室達(dá)到恒壓,從而提高工藝穩(wěn)定性。

射頻電源采用進(jìn)口RF500W及RF1000W雙電源控制，帶自電動(dòng)匹配。

氣路系統(tǒng)采用四個(gè)質(zhì)量流量控制器（國(guó)產(chǎn)）控制四路氣體進(jìn)氣。氣體管路采用1/4英寸不銹鋼硬管（進(jìn)口件），管路接頭連接形式采用雙卡套連接（進(jìn)口件）。

自動(dòng)控制系統(tǒng)采用PLC控制、17寸觸摸顯示屏操作，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程自動(dòng)化。本機(jī)可選擇全自動(dòng)及非全自動(dòng)模式。

本設(shè)備設(shè)有安全保護(hù)及報(bào)警系統(tǒng)。

二. 技術(shù)指標(biāo)

1.極限真空度: 9×10^-5Pa（環(huán)境濕度≤55%）

2. 刻蝕材料: SiO2、 Si3N4、深刻Si等

3. 刻蝕速率： 0.01 ~ 2μ/min

4. 刻蝕均勻性: ≤±5％ (φ125mm范圍內(nèi))

5. 電極尺寸: φ200mm

6. 反應(yīng)室尺寸：φ300×280mm（約）