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臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

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更新時(shí)間：2021-03-22 15:17:52瀏覽次數(shù)：922次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

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臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

詳細(xì)介紹

臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器 [1] 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是：當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái)，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。

臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

規(guī)格

測(cè)量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)

測(cè)量功能二維表面輪廓測(cè)量

可選三維測(cè)量/

樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比（HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖