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線性壓電納米位移臺(tái)ML-23A

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壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的最小步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題

詳細(xì)介紹

壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的最小

步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先

進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，具有運(yùn)動(dòng)無需潤(rùn)滑，真空兼容，

可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行

程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

線性壓電納米位移臺(tái)ML-23A，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。是小空間內(nèi)

大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺(tái)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)