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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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HMPS-2060P的微波等離子體CVD設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:宛女士查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-07-11 17:39:17瀏覽次數(shù):183次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:47條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:宛女士 (市場專員)

產(chǎn)品簡介

HMPS-2060P的微波等離子體CVD設(shè)備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán)……,我司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2060P的微波等離子體CVD設(shè)備具有以下優(yōu)勢特點(diǎn):. 微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì),功率密度大。. 產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。. 開關(guān)型微波電源,微波輸出穩(wěn)定性高。. 性能*,安......

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格
(1)型號HMPS-2060S
(2)電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<10KVA
(3)微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
(4)功率穩(wěn)定度優(yōu)于2%
(5)紋波≤1%
(6)微波頻率   2450MHz±50MHz
(7)測溫方式     紅外300~1400℃
(8)極限真空度6×10-6torr
(9)腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr
(10)樣品臺 Φ60mm
(11)樣品臺軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
(12)工作氣氛五路(可用戶定制)
(13)微波泄漏值 <5mW/cm2
(14)工作環(huán)境 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(15)冷卻水>22L/Min


應(yīng)用范圍

適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。



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