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更新時間:2022-07-11 17:42:35瀏覽次數(shù):213次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項自主知識產(chǎn)權(quán)……,我司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備具有以下優(yōu)勢特點:. 微波反應(yīng)腔新型設(shè)計,功率密度大。. 產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過3inch。. 開關(guān)型微波功率源,微波功率輸出......
(1) | 型號 | HMPS-2150S |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<25KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào) |
(4) | 功率穩(wěn)定度 | ≤±1%(@滿功率) |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃,控制精度±5℃ |
(8) | 極限真空度 | 6×10-6torr |
(9) | 腔體內(nèi)工作壓力 | 7torr~250torr |
(10) | 自動氣壓控制 | 0.1torr |
(11) | 等離子放電區(qū)域 | Φ≥100mm |
(12) | 均勻沉積區(qū)域 | Φ≥80mm |
(13) | 工作氣氛 | 五路(可用戶定制) |
(14) | 微波泄漏值 | <5mW/cm2 |
(15) | 工作環(huán)境 | 溫度15~40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
(16) | 冷卻水 | >46L/Min |
適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
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