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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:宛女士查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-07-11 17:42:35瀏覽次數(shù):213次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:47條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:宛女士 (市場專員)

產(chǎn)品簡介

HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項自主知識產(chǎn)權(quán)……,我司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2150S微波等離子體CVD設(shè)備具有以下優(yōu)勢特點:. 微波反應(yīng)腔新型設(shè)計,功率密度大。. 產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過3inch。. 開關(guān)型微波功率源,微波功率輸出......

詳細介紹

技術(shù)規(guī)格
(1)型號HMPS-2150S
(2)電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<25KVA
(3)微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
(4)功率穩(wěn)定度  ≤±1%(@滿功率)
(5)紋波≤1%
(6)微波頻率   2450MHz±50MHz
(7)測溫方式     紅外300~1400℃,控制精度±5℃
(8)極限真空度 6×10-6torr
(9)腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr
(10)自動氣壓控制0.1torr
(11)等離子放電區(qū)域 Φ≥100mm
(12)均勻沉積區(qū)域 Φ≥80mm
(13)工作氣氛五路(可用戶定制)
(14)微波泄漏值 <5mW/cm2
(15)工作環(huán)境  溫度15~40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(16)冷卻水  >46L/Min


應(yīng)用范圍

適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。



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