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固態(tài)微波遠程等離子體源

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更新時間：2022-07-11 17:44:03瀏覽次數(shù)：253次

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成都沃特塞恩電子技術有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

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產品簡介

固態(tài)微波遠程等離子體源

詳細介紹

技術規(guī)格

項目	特征
頻率	2450MHz
微波功率	額定1.5kW，3kW
功率穩(wěn)定度	≤1%
適用氣體	O_2，N_2,H_2,Ar, He, CF_4,SF_6，CI₂等
運行氣壓范圍	0.06-20 Torr
氣體流量范圍	0.1-10 slm
等離子發(fā)生腔材質	石英、陶瓷、藍寶石可選
電源輸入	單相交流 110-264V/50-60Hz
冷卻方式	循環(huán)水冷， 8L/MIN， 5-25℃， 1/4"快速接口（固態(tài)微波源部分）循環(huán)水冷， 3L/MIN，5-25℃
控制接口	DB9F / RJ45
等離子輸出端口	ISO-K 63
外形尺寸	350250140mm (等離子體放電腔部分) 450308318mm (固態(tài)微波源部分)
整體重量	50KG