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福運(yùn)萊化學(xué)隔膜泵12C實(shí)驗(yàn)室光伏半導(dǎo)體

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產(chǎn)品型號(hào)FH-12C

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更新時(shí)間：2024-07-20 16:54:33瀏覽次數(shù)：1458次

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東莞福運(yùn)萊真空科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

材質(zhì)	鑄鋁	產(chǎn)地	廣東省東莞市
功率	0.75kw	性能	耐腐蝕

專為腐蝕性氣體抽真空設(shè)計(jì)的化學(xué)隔膜泵。所有與被抽氣體接觸部件均由耐酸堿的鐵氟龍材料制造，具有較強(qiáng)的化學(xué)耐腐蝕性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治"夾層結(jié)構(gòu)的膜片增強(qiáng)了其可靠性和延長了其操作壽命。
福運(yùn)萊化學(xué)隔膜泵控制系統(tǒng)采用自主研發(fā)的高靈敏度的PID控制器和變頻器進(jìn)行控制，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的壓力控制。變頻器工作時(shí)非常安靜且根據(jù)過程需要可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，因此*地降低了能量消耗和維護(hù)需求。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品介紹：

FH-12C專為腐蝕性氣體抽空設(shè)計(jì)的四級(jí)化學(xué)隔膜泵。FH-12C具有獨(dú)立八個(gè)泵頭作為抽力的來源，同時(shí)具有抽氣速度大和達(dá)1.5mbar的超高極限真空的優(yōu)點(diǎn)。所有與被抽氣體接觸部件均由耐酸堿的鐵氟龍材料制造，具的較強(qiáng)的化學(xué)耐腐蝕性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夾層結(jié)構(gòu)的膜片增強(qiáng)了其可靠性和延長了其操作壽命。

FH-12C配備氣鎮(zhèn)口，在使用氣鎮(zhèn)時(shí)極限真空仍然能達(dá)到2mbar，氣鎮(zhèn)口除了作氣鎮(zhèn)使用，還可以用來輸入惰性氣體清洗腔室、膜片、閥片等，有效提升易損件的使用壽命；

FH-12C控制系統(tǒng)采用自主研發(fā)的高靈敏度的PID控制器和變頻器進(jìn)行控制，控制精度達(dá)到0.1mbar；變頻器工作時(shí)非常安靜且根據(jù)過程需要可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，因此*地降低了能量消耗和維護(hù)需求

控制器使用大尺寸的電阻觸摸屏，具有友好、簡單易懂的操作畫面。具備以太網(wǎng)口通訊接口和RS32通訊接口。

FH-12C使用的是電容式陶瓷薄膜傳感器，這種測試方法不依賴于氣體種類，且具有出色的耐化學(xué)腐蝕能力。

二、性能特性

適用環(huán)境：抽取化學(xué)腐蝕性的氣體或蒸汽