Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有創(chuàng)新的軸承護(hù)罩設(shè)計(jì)，可將真空環(huán)境與所有形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅*干燥，而且*密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。兩款泵都有耐腐蝕性版本。

XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎(chǔ)上開發(fā)的產(chǎn)品，因此兩者具備相同的功能和優(yōu)勢(shì)，但前者的峰值泵速可達(dá) 40m3/hr。當(dāng)入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時(shí)，XDS46i 針對(duì)大抽速進(jìn)行了優(yōu)化，因此非常適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應(yīng)用。端部密封技術(shù)的新改進(jìn)減少了端部密封的磨損，從而延長了維修干預(yù)之間的時(shí)間間隔。變換器驅(qū)動(dòng)控制著電機(jī)的特性，確保泵總是以優(yōu)化速度運(yùn)行，并使用戶可以對(duì)泵進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

氣鎮(zhèn)允許處理蒸汽，將應(yīng)用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅(qū)動(dòng)裝置控制著電機(jī)特性，可確保泵總是以好轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)。

nXDS 46i渦旋真空泵特點(diǎn)

真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長

nXDS 46i渦旋真空泵無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用

簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

應(yīng)用

清潔泵送應(yīng)用

汽車

射束線和高能物理

超高速離心機(jī)

 LCMS 入口

ICPMS 入口

涂層