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1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2022-08-01 11:14:40瀏覽次數(shù)：123次

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河南三特爐業(yè)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【產(chǎn)品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)【爐管尺寸】φ40--φ100mm【加熱區(qū)】300mm/440mm 【額定溫度】1200℃【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】PECVD系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成，本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內(nèi)形成等離子體，利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性，改善反應(yīng)條件，使含有......

詳細(xì)介紹

商品描述

【產(chǎn)品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)

【爐管尺寸】φ40--φ100mm

【加熱區(qū)】300mm/440mm

【額定溫度】1200℃

【控溫精度】±1℃

【應(yīng)用領(lǐng)域】PECVD系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成，本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內(nèi)形成等離子體，利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性，改善反應(yīng)條件，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)，最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。

性能特點(diǎn)：

CVD管式爐系統(tǒng)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源

管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區(qū)的長(zhǎng)度，爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭；

真空獲得系統(tǒng)可根據(jù)試驗(yàn)要求選擇不同的真空泵，旋片式機(jī)械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空機(jī)組真空度1×10^-4pa；

氣路供氣系統(tǒng)可選擇3路浮子手動(dòng)和3路自動(dòng)質(zhì)量流量系統(tǒng)

真空測(cè)量為數(shù)字復(fù)合真空機(jī)或皮拉尼真空計(jì)

等離子體放電選擇13.56Mhz的設(shè)備電源，功率輸出可選擇200W、300W和500W

管式爐可選擇單溫區(qū)300mm和440mm，也可選擇三溫區(qū)或多溫區(qū)進(jìn)行溫度的梯度試驗(yàn)

溫控器內(nèi)置的RS485數(shù)字通信端口和USB適配器作為可選配置，可連接PC，用于系統(tǒng)的遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視，還可以保存或?qū)С鰷y(cè)試結(jié)果。

產(chǎn)品符合歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)。

型號(hào)	STGP-40-12	STGP-60-12	STGP-80-12	STGP-100-12
爐管尺寸	Φ40 x 1200mm	Φ60 x 1200mm	Φ80 x1200mm	Φ100 x 1200mm
額定溫度	1200℃
工作溫度	1100℃
加熱區(qū)尺寸	300mm/440mm
電源電壓	220V/1.8KW	220V/2.6KW	220V/2.6KW	220V/2.6KW
加熱元件	HRE鐵鉻鋁合金電阻絲
爐膛材料	濕法真空抽濾成型制備的多晶無(wú)機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料
爐管材料	石英管
控溫精度	±1℃
測(cè)溫元件	N型熱電偶
溫控儀表	智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個(gè)時(shí)段，程序升溫、程序保溫、程序降溫
升溫速度	1-25℃/min自由調(diào)節(jié)
爐體結(jié)構(gòu)	爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，爐膛開(kāi)合式；雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱
密封性能	爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進(jìn)行工作，真空度≤5pa（旋片式真空泵）
射頻電源	頻率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率穩(wěn)定性：±0.5%
氣體控制	可選擇3路浮子手動(dòng)流量計(jì)，量程60-600ml /min；3路自動(dòng)質(zhì)量流量計(jì)，量程1-500sccm
氣氛性能	法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)?、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體
氣路接口	KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵；保護(hù)氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路
設(shè)備保護(hù)	模塊化控制，對(duì)工作過(guò)程中的超溫、斷偶會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作
安全保護(hù)	在設(shè)備上裝有空開(kāi)斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時(shí)會(huì)自動(dòng)彈開(kāi)，能保護(hù)設(shè)備和操作人員的安全
外殼	優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機(jī)床下料加工，經(jīng)過(guò)焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉
質(zhì)量認(rèn)證	ISO9001 CE SGS TUV