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1400℃-CVD管式爐

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更新時(shí)間：2022-08-01 11:31:14瀏覽次數(shù)：141次

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河南三特爐業(yè)科技有限公司

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聯(lián)系人：何玉強(qiáng) （銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐【爐管尺寸】φ25--φ120mm【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1400℃【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

詳細(xì)介紹

商品描述

【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm

【額定溫度】1400℃

【控溫精度】±1℃

【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

一、產(chǎn)品描述

系列產(chǎn)品主要針對(duì)在真空或者保護(hù)氣氛下對(duì)樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口，可通入保護(hù)氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結(jié)構(gòu)，高溫不變形、堅(jiān)固耐用

2、發(fā)熱體采用硅碳棒，可承受負(fù)荷大，穩(wěn)定且使用壽命長(zhǎng)

3、爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、合理、易拆卸，方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品

4、升溫速度快，從室溫升到1400攝氏度，一般需要50分鐘

5、采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補(bǔ)償和溫度校正功能，精度為±1℃

6、控溫儀表具有程序功能，可設(shè)定升溫曲線，可編程序30段

7、一體式結(jié)構(gòu)，外觀設(shè)計(jì)，美觀、大方

8、電子元器件均采用產(chǎn)品，帶有漏電保護(hù)功能，安全可靠

9、本機(jī)對(duì)工作過程中的超溫會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作

10、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后，只要按下運(yùn)行按鈕，接下來的工作會(huì)自動(dòng)完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

12、可選配氣體質(zhì)量流量計(jì)，通入氣體可數(shù)字精確控制

型號(hào)	STGC-25-14	STGC-40-14	STGC-60-14	STGC-80-14	STGC-100-14	STGC-120-14
爐管尺寸	Φ25 x 900mm	Φ40 x 900mm	Φ60 x 900mm	Φ80 x 900mm	Φ100 x 900mm	Φ120 x 900mm
額定溫度	1400℃
工作溫度	1300℃
加熱區(qū)尺寸	300mm
電源電壓	220V/2KW	220V/2KW	220V/3KW	220V/4KW	220V/5KW	220V/8KW
加熱元件	U型硅碳棒
爐膛材料	濕法真空抽濾成型制備的多晶無機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料
爐管材料	剛玉管
控溫精度	±1℃
測(cè)溫元件	S型鉑銠熱電偶
溫控儀表	智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個(gè)時(shí)段，程序升溫、程序保溫、程序降溫
升溫速度	1-30℃/min自由調(diào)節(jié)
爐體結(jié)構(gòu)	爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱
密封性能	爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進(jìn)行工作，密封真空度≤0.0001pa
氣氛性能	法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)?、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體
真空獲得	配套獨(dú)立的真空獲得系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)配有1臺(tái)雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計(jì)，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統(tǒng)真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機(jī)組
氣路系統(tǒng)	配套獨(dú)立的氣路系統(tǒng)，系統(tǒng)有三路浮子流量計(jì)組成，有混氣室，可單進(jìn)單出也可三路氣體混氣后進(jìn)入管式爐系統(tǒng)，浮子流量計(jì)量程：60-600ml/min；也可選擇自動(dòng)質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，控制精度±1.5%FS，重復(fù)精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM
設(shè)備保護(hù)	模塊化控制，對(duì)工作過程中的超溫、斷偶會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作
安全保護(hù)	在設(shè)備上裝有空開斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時(shí)會(huì)自動(dòng)彈開，能保護(hù)設(shè)備和操作人員的安全
外殼	優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機(jī)床下料加工，經(jīng)過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉
質(zhì)量認(rèn)證	ISO9001 CE SGS TUV
標(biāo)準(zhǔn)配置	1、爐體一臺(tái) 2、溫度控制器一臺(tái) 3、電源線3米 4、熱電偶一支 5、說明書一份 6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個(gè) 9、密封法蘭一套