污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
佛山市法拉特傳動科技有限公司
佛山市法拉特傳動科技有限公司
產(chǎn)品型號手機：18025255866
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地佛山市
聯(lián)系方式：卓立高查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-04-05 09:23:47瀏覽次數(shù)：925次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線中國臺灣法拉特FLT高精密斜齒行星減速機近幾年來由于國際能源危機及地球環(huán)境改善帶來對新能源，可再生能源的鉅大需求，光伏產(chǎn)業(yè)齣現(xiàn)*的增長，半導(dǎo)體硅材料的生產(chǎn)又進入新的發(fā)展期，因此大力加速發(fā)展可再生能源.硅光伏產(chǎn)業(yè)及共基礎(chǔ)材料---高純半導(dǎo)體硅（單晶.多芯片）材料已成爲(wèi)當(dāng)務(wù)之急，而硅材料的生長離不開單晶硅爐和多晶硅爐的設(shè)備支持。
二、單晶硅爐的工藝流程簡介、技術(shù)需求及方案的分析
中國臺灣*法拉特FLT高精密大扭矩行星減速機，中國臺灣FLT法拉特伺服電機行星式減速機 近幾年來由于國際能源危機及地球環(huán)境改善帶來對新能源，可再生能源的鉅大需求，光伏產(chǎn)業(yè)齣現(xiàn)*的增長，半導(dǎo)體硅材料的生產(chǎn)又進入新的發(fā)展期，因此大力加速發(fā)展可再生能源.硅光伏產(chǎn)業(yè)及共基礎(chǔ)材料---高純半導(dǎo)體硅（單晶.多芯片）材料已成爲(wèi)當(dāng)務(wù)之急，而硅材料的生長離不開單晶硅爐和多晶硅爐的設(shè)備支持。
二、單晶硅爐的工藝流程簡介、技術(shù)需求及方案的分析
2-1、單晶硅爐的工藝流程簡介
單晶硅爐爐的組成組件可分成四部分
（1）爐體：包括石英坩堝，石墨坩堝，加熱及絕熱組件，爐壁
（2）晶棒及坩堝拉陞鏇轉(zhuǎn)機構(gòu)：包括籽晶夾頭，吊線及拉陞鏇轉(zhuǎn)組件
（3）氣氛壓力控製：包括氣體流量控製，真空係統(tǒng)及壓力控製閥
（4）控製係統(tǒng)：包括偵測感應(yīng)器及電
腦控製係統(tǒng)
加工工藝：
加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長
（1）加料：將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi)，雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類有硼，磷，銻，砷。
（2）熔化：加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后，長晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi)，然后打開石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度（1420℃）以上，將多晶硅原料熔化。
（3）縮頸生長：當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后，將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場接觸時的熱應(yīng)力，會使籽晶產(chǎn)生位錯，這些位錯必須利用縮勁生長使之消失掉。縮頸生長是將籽晶快速向上提升，使長出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?-6mm）由于位錯線與生長軸成一個交角，只要縮頸夠長，位錯便能長出晶體表面，產(chǎn)生零位錯的晶體。
（4）放肩生長：長完*之后，須降低溫度與拉速，使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
（5）等徑生長：長完*和肩部之后，借著拉速與溫度的不斷調(diào)整，可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間，這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
（6）尾部生長：在長完等徑部分之后，如果立刻將晶棒與液面分開，那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯與滑移線。于是為了避免此問題的發(fā)生，必須將晶棒的直徑慢慢縮小，直到成一尖點而與液面分開。這一過程稱之為尾部生長。長完的晶棒被升*爐室冷卻一段時間后取出，即完成一次生長周期。
技術(shù)需求和方案分析
單晶硅爐上面共需要四個軸驅(qū)動，其中2個使用的是伺服控制系統(tǒng)，另外2個使用的是直流驅(qū)動裝置實現(xiàn)；該設(shè)備根據(jù)工藝需要，設(shè)備分為爐架、主爐室、副室、提拉旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，下隨動機構(gòu)及液壓提升機構(gòu)、真空及氣路系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、光學(xué)測量系統(tǒng)、電加熱和運動控制系統(tǒng)及計算機控制系統(tǒng)等諸多機構(gòu)。通過系統(tǒng)優(yōu)化，實現(xiàn)高科技產(chǎn)品的集成。其次設(shè)備采用了許多較新的機構(gòu)。如上提拉旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過花鍵軸配繞絲輪結(jié)合電刷環(huán)，在很小的體積上實現(xiàn)了穩(wěn)定提拉和旋轉(zhuǎn)，滿足工藝需求且降低了設(shè)備高度，再有下隨動機構(gòu)設(shè)備采用精密滾珠絲杠配合坩堝的磁流體密封，運動保持部件置于真空室外，實現(xiàn)精密運動與真空密封的*結(jié)合，使用穩(wěn)定可靠，還有液壓提升機構(gòu)對副室翻板閥的保持采用無自鎖，爐內(nèi)有漏硅等壓力驟增的緊急情況可以實現(xiàn)自動泄壓提高了設(shè)備的安全可靠性等等。在電器控制上設(shè)備采用可編程操作，代替了傳統(tǒng)的邏輯編程繼電器。電器控制系統(tǒng)由國產(chǎn)機大多采用的單片機，提升到IRCON和CCD工控自動化控制三個類型，提高了設(shè)備的自動化控制水平。
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
KTR-TOOLFLEX 5S TOOLFLEX波紋管聯(lián)軸器 電機傳動
TOOLFLEX 5S TOOLFLEX 面議
環(huán)保在線 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
