黃生
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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-708系列
特征
大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備
濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。
在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時(shí)支持 PDMS 表面處理
配備鍍膜模式/蝕刻模式
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
反光膜制作應(yīng)用
樣品表面親水化處理應(yīng)用（蝕刻方式）
PDMS表面處理應(yīng)用（蝕刻模式）等
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-708系列
基本規(guī)格
| 陰極 | φ4-8英寸/2極對(duì)向電極 |
| 濺射電流 蝕刻電流 | 0-50mA（包括電流表） |
| 濺射電壓 蝕刻電壓 | 0.8 / 1.4kV |
| 氣體引入機(jī)制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：100l/min（帶自動(dòng)漏氣） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ240mm x D240mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門開(kāi)閉式 |
| 樣本量 | φ4 ~ 8 英寸 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：282/450 / 440mm RP：460/175 / 265mm |
| 重量 | 身體：約20kg RP：23kg |
特殊規(guī)格示例
 SC-704AT 膜厚可控全自動(dòng)機(jī)型 |  SC-704MC 磁控陰極采用型號(hào) （無(wú)蝕刻/交流濺射功能） |
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