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深圳市慧爍機電有限公司
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產品型號PE-50
品 牌
廠商性質生產商
所 在 地
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更新時間:2022-08-09 10:11:12瀏覽次數:228次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線簡介OverviewPE50是一款高性價比的等離子清洗機,提供其他競爭產品不具備的非常多的特性
簡介Overview
PE50 是一款高性價比的等離子清洗機,提供其他競爭產品不具備的非常多的特性。 這臺等離子清洗機適合小批量生產,研究和開發(fā)實驗室,測試生產或是大學。系統(tǒng)提供防爆型矩形焊接鋁合金真空腔(大?。?" 寬x 7" 深 x 4"高), 并有一個直接驅動型射頻電極。
等離子清洗應用包括:科研,太陽能電池,印刷電路板,連接器,MEMs,納米材料,晶元產品包裝,接觸透鏡,和很多半導體制作工程。
特性:
所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設計,是等離子產生方式。
很多競爭對手采用玻璃/石英筒形腔體設計不能穿透真空密封容器,從而被限制為使用射頻線圈繞在腔體外圍的射頻耦合。這是一種非常沒有效率的方式,結果是功率損失,嚴重的低刻蝕/清洗移除效率。
等離子清洗設備的用途和靈活性,可以用與處理多種表面,并精確控制。比較濕法清洗和蝕刻工藝,等離子清洗沒有危險物質和廢水產生,如果有效的表面處理對產品重復性或是過程效率非常關鍵,等離子工藝可能是很好的選擇。
PE50等離子清洗機包含部件,全部在美國生產,Plasma Etch*。
PE50等離子清洗機用于移除有機或是無機污染物,改善浸潤性,提升粘接強度,并去除殘留物,這在非常多的產品和制作過程中都是有效的處理方式。
標準配置規(guī)格
焊接鋁真空反應腔6" X 7" X 4"
單個 4.5" x 6" 水平電極
150 Watts @ 50 kHz 射頻發(fā)生器,可以提供400W電源選項
精確針閥流量控制0-25cc/min
皮拉尼真空計0-1乇
5CFM氧氣提供真空泵
存儲1組過程參數
可選項目特性
150W @ 13.56MHz 射頻發(fā)生器和自動匹配電路.
燈條
質量流量計
電氣和尺寸
交流電120VAC 60 Hz @ 15 A or 220 VAC 50 Hz @ 14A
反應器運輸重量55lbs
真空本運輸重量 35lbs
反應器外形尺寸 14 “ X 14.5" X 18"
真空泵外形尺寸 7" x 16"
可選Venus升級選項
l 適用電腦/筆記本的控制程序
使用含有PLASMA ETCH軟件的臺式機/筆記本,用于自動控制系統(tǒng)運行,編輯工作序列,多個狀態(tài)存儲以及更*的功能。
l 質量流量控制器
帶一個質量流量控制器。可以配置更多的質量流量控制器。
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