INFICON(瑞士英??担?UL1000移動式氦檢漏儀專門設(shè)計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求:具有耐用性強(qiáng)、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應(yīng)精確迅速,系統(tǒng)安可靠等特點。
UL1000符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪,至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運(yùn)算法則,都無不顯示了其的*性。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息,這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。通過更新軟件,新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
UL1000符合微電子 工業(yè)生產(chǎn) 的要求。從堅固的金屬外殼 到方便移動 的 滾輪 ,至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運(yùn)算法則,都無不顯示了其的*性。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息,這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件,新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。