● 模塊化設(shè)計,可實現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置
● 復(fù)消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑
● 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu),UV由大功率LED產(chǎn)生,具有UV和OUV功能
● 12x12大樣品臺,可觀察晶圓,LCD等大尺寸樣品
● 6孔位電動物鏡轉(zhuǎn)盤,配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡
● 內(nèi)置電動或手動調(diào)焦系統(tǒng)
● 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能
● 可實現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明方式
● 機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源,智能光強(qiáng)變化控制照明方式
● 能自動記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下的光強(qiáng)、光闌大小及聚光鏡的組合,自動恢復(fù)到位,操作簡單快速
● 基座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作
● 光強(qiáng)、光闌、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計算機(jī)控制操作,并自動在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺
● 具有色溫恒定系統(tǒng),提供工作效率
● 可配接攝像頭,數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集、分析、測量
● 可配接熒光觀察、高溫?zé)崤_、陰極發(fā)光儀、光度計
● 可配接自動掃描臺進(jìn)行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析
徠卡DM12000 M技術(shù)參數(shù)
基本參數(shù) 顯微鏡類型 研究級顯微鏡(正置) 轉(zhuǎn)換器 WI-SRE2:擺出式物鏡轉(zhuǎn)換器 載物臺 IX-SVL2:機(jī)械式載物臺 光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng) 光學(xué)參數(shù) 觀察頭 U-TR30-2:寬視野傾斜三目鏡筒,傾角為30度,三級分光(觀察,觀察照相比20%:80%,照相),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié);U-ETR3:三目正像鏡筒,傾角為30度,二級分光(觀察,照相),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié);WI-DPMC:雙分光三目鏡筒,帶中間變倍,傾角為24度,三種分光方式(觀察,前光口,同時使用兩個光口),瞳間距調(diào)節(jié)50-76mm,帶屈光度調(diào)節(jié) 調(diào)焦 電動調(diào)焦 照明系統(tǒng) 顯微鏡鏡體:透射光內(nèi)置柯勒照明(F.N.22),12V 100W長壽命鹵素?zé)?預(yù)定心)(平均壽命大約2,000小時),光強(qiáng)調(diào)節(jié):DC2.5Vg12.6V(連續(xù)可調(diào)), 電流8.4A;光源BX-UCB:功耗:200W,尺寸:125×216×310mm,重量:5kg 其他參數(shù) 材質(zhì):高剛性鋁合金熒光裝置:BX-RFA:多功能用,可配勵起光平衡器和矩形視場光闌;BX-URA2:通用型熒光照明裝置
WI-SLRE:滑座式物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-SNPXLU:單孔物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-SSNP:擺出-滑動式物鏡轉(zhuǎn)換器
WI-XYS:固定式防震載物臺(顯微鏡移動式)
U-SVL(R)B-4:左(右)手同軸低位驅(qū)動、高抗磨損性陶瓷覆蓋層載物臺, 和WI-STAD聯(lián)用,移動范圍:52×76mm