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ARS 閉循環(huán)電磁鐵探針臺

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產品型號

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廠商性質其他

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更新時間:2021-09-09 15:03:32瀏覽次數:234次

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ARS 閉循環(huán)電磁鐵探針臺

美國ARS 公司的PS-CC閉循環(huán)探針臺用于樣品的非破壞性檢測,測試靈活,可提供0.6T的水平磁場并配備雙極電源。該設備廣泛應用于直流(DC),射頻(RF),MEMS, 納米電子,超導性,納米電路的光電特性,量子點和量子線,非破壞性測試等。

 

該款探針臺使用DE204、DE210或DE215系列冷頭,整個測試過程中無需使用任何制冷劑(液氦/液氮)可根據不同測試要求,選用不同型號冷頭,以便樣品溫度到達13K、<10K、7K或 <4K。所有的ARS閉式循冷頭均采用高制冷量的一級冷頭,該設計可使系統快速降溫并降低系統熱負載。氣動驅動GM冷頭一級制冷量高,固有振動小,是該領域的理想選擇。

 

該系統配有硬涂層鋁制真空罩和高拋光的無氧銅防熱輻射屏。高質的真空器件至關重要,可以使樣品獲得更高的真空環(huán)境,更潔凈的表面,更好的電接觸。

 

ARS既生產冷頭又生產探針臺的一站式生產確保了該產品的穩(wěn)定性能,也利于系統的診斷和服務。

 

上圖展示了連接到真空室的4探針。這是桌的側面,沒有顯示下面的制冷機。

上圖展示了探針臺內部的樣品空間。

應用案例:

• 電磁特性

• 微波特性

• 低頻,高頻特性

• MEMS

• 納米電子學

• 超導特性

• 納米器件光電性能

• 量子點及納米線

• 單電子

• 低電流物理特性

 

特點

備注

溫度范圍:< 7K-400K

其他溫區(qū)可選

樣品區(qū)0.6T水平磁場

 

樣品區(qū)振動優(yōu)于 1微米

 

12英寸×5英寸不銹鋼真空室

 

5.5英寸 × 2.875英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

 

1英寸方形鍍金無氧銅樣品臺

 

高純石英觀察窗

 

藍寶石防熱輻射屏冷窗

 

多至4個三維微操作探針臂

 

可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂

 

控溫系統:高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計(±12mK)、加熱器

溫度計安裝位置:

1、冷頭溫度計,用于診斷

2、樣品臺溫度計及加熱器,用于控制樣品臺溫度,實現精確控溫

3、樣品溫度計,用于精確測量樣品溫度

4、冷屏溫度計及加熱器,用于控制加熱冷屏溫度,實現快速換樣

7:1顯微觀測系統,3微米分辨率,環(huán)形光源

可升級16:1顯微觀察系統

規(guī)格及技術參數

 

制冷方式

閉循環(huán)制冷,無需液氦

溫度范圍

7K-400K

(可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K)

磁場范圍

-0.6T至+0.6T

磁體型號

GMW5403EG

磁場方向水平方向

極面76毫米

水冷需求:2升/分鐘,0.8bar

電源:雙極型電源

電壓±20V

電流±40A

高斯計:LS475DSP

霍爾傳感器LS HGCT-3020

溫度穩(wěn)定性

優(yōu)于50mK

泵抽真空時間

機械泵約45分鐘

分子泵約10分鐘

降溫時間

約2.5小時至10K(DE204P冷頭)

真空腔

無磁不銹鋼真空腔

12英寸×5英寸

上蓋安裝高純石英窗口

防熱輻射屏

鍍鎳無氧銅防熱輻射屏

5.5英寸 × 2.875英寸

上蓋藍寶石冷窗

熱連接至1級冷頭

樣品臺

鍍金無氧銅樣品臺

1英寸方形

接地(標準)

絕緣(可選)

偏壓,通過同軸電纜至外部BNC接頭(可選)

偏壓到Guard,通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭(可選)

探針臂位移臺

手動驅動

不銹鋼焊接波紋管連接

X方向(軸向)2英寸行程

Y方向(橫向)1英寸行程(標準)

Z方向(垂直方向)0.5英寸行程

刻度10微米

靈敏度5微米

振動

三級減震,振動小于1微米

溫度計安裝

4個溫度計,2套加熱器

4個溫度計位置:

1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫

1個DT-670B-SD溫度計安裝于樣品臺底部用于控溫

1個DT-670B-SD溫度計安裝于冷頭位置用于診斷

1個校準型CX-1070-CU-4L溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近,用于精確測溫

2套加熱器位置:

1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫

1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫

顯微觀測系統

標準7:1顯微鏡

4.2毫米-0.61毫米視野

工作距離:89毫米

數值孔徑:0.024-0.08

光源:環(huán)形光源

分辨率:3微米

安裝手動三維位移臺

高分辨率24英寸顯示器

可選16:1顯微鏡

12.8毫米-0.8毫米視野

工作距離:89毫米

數值孔徑:0.0090-0.15

光源:環(huán)形光源

分辨率:2微米

安裝手動三維位移臺

高分辨率24英寸顯示器

探針臂

 

直流/低頻探針臂

微型同軸電纜

接頭:SMA或BNC

頻率:0-100兆赫茲

阻抗:50歐姆

包含接地屏蔽接頭

三同軸電纜

接頭:三同軸接頭

頻率:0-100兆赫茲

阻抗:50歐姆

卡爾文探針

電纜:同軸或三同軸

接頭:SMA/BNC/三同軸

頻率:0-100兆赫茲

針尖材料:

鎢針(標準)

鍍金鎢針(可選)

鈹銅鍍金(可選)

針尖半徑:

0.5微米(其他半徑可選)

GSG高頻探針臂

0-40GHz

接頭:K型接頭

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

0-50GHz

接頭:2.4

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

0-67GHz

接頭:1.85

電纜:半剛性同軸電纜

針尖:鎢針或鈹銅針尖

光纖探針臂

紫外/可見 或 可見/紅外

接頭:SMA905公頭

光纖樣品端:拋光裸頭

尺寸:100微米-400微米

單模或多模

 

PS-L 液氦/液氮型低溫探針臺

PS-L 液氦/液氮型低溫探針臺

ARS閉循環(huán)超導磁體探針臺

ARS閉循環(huán)超導磁體探針臺

ARS超穩(wěn)超低振動型低溫探針臺

ARS超穩(wěn)超低振動型低溫探針臺

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