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壓電晶體生長爐

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更新時(shí)間:2022-09-28 18:54:28瀏覽次數(shù):194次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:25條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

壓電晶體生長爐產(chǎn)品簡介:本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設(shè)備

詳細(xì)介紹

 

壓電晶體生長爐


 

產(chǎn)品簡介:

本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設(shè)備。主要用于CZ法單晶的生產(chǎn),全自動(dòng)控制系統(tǒng)可提高晶體品質(zhì)和一致性,過程可控穩(wěn)定性高,減少人工干預(yù)、工作強(qiáng)度和成本。


 

壓電晶體生長爐 技術(shù)參數(shù)

 

技術(shù)參數(shù):

爐體內(nèi)腔尺寸:φ800mm×1000mm

外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm

長晶尺寸:6英寸

籽晶軸提拉行程:450mm

提拉運(yùn)動(dòng)最小線速度:0.01mm/hr

快速提拉速度:200mm/min

籽晶軸轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0.1100r/min

稱重系統(tǒng):稱重傳感器量程20kg;信號(hào)放大器顯示精度0.01g

控制軟件:提拉法等徑控制軟件,采用上稱重方法來控制晶體直徑,晶體形狀可隨意設(shè)計(jì),PID及運(yùn)動(dòng)參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化,屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。

加熱電源:中頻感應(yīng)加熱

加熱輸出功率:30KW

真空系統(tǒng):機(jī)械泵抽真空

水冷系統(tǒng):爐腔、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。


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