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更新時(shí)間:2022-09-28 18:54:28瀏覽次數(shù):194次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線壓電晶體生長爐產(chǎn)品簡介:本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設(shè)備
壓電晶體生長爐
產(chǎn)品簡介: 本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰(LT)和鈮酸鋰(LN)等材料的壓電晶體生長的設(shè)備。主要用于CZ法單晶的生產(chǎn),全自動(dòng)控制系統(tǒng)可提高晶體品質(zhì)和一致性,過程可控穩(wěn)定性高,減少人工干預(yù)、工作強(qiáng)度和成本。 |
技術(shù)參數(shù):
爐體內(nèi)腔尺寸:φ800mm×1000mm
外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm
長晶尺寸:6英寸
籽晶軸提拉行程:450mm
提拉運(yùn)動(dòng)最小線速度:0.01mm/hr
快速提拉速度:200mm/min
籽晶軸轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0.1~100r/min
稱重系統(tǒng):稱重傳感器量程20kg;信號(hào)放大器顯示精度0.01g
控制軟件:提拉法等徑控制軟件,采用上稱重方法來控制晶體直徑,晶體形狀可隨意設(shè)計(jì),PID及運(yùn)動(dòng)參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化,屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。
加熱電源:中頻感應(yīng)加熱
加熱輸出功率:30KW
真空系統(tǒng):機(jī)械泵抽真空
水冷系統(tǒng):爐腔、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
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