型號：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
產(chǎn)品概述：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，該設備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。
| 設備名稱 | 三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶實驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點 | ? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光（圖1）； ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強，從而顯著降低實驗溫度； ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控； ? 此款設備可安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦（圖2、3）； ? 此款設備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。
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| 基本參數(shù) | ? 工作溫度1500℃（<30min）；連續(xù)使用溫度1400℃； ? 三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護； ? 輸入電源： 208-240V，AC，單相；功率：6.6 KW； ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料） ? 注意：此設備不標配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H ? 爐體下端移動柜：1800mm L′600mm W′600mm H ? 凈重：100 kg ? 運輸重量：550 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
環(huán)保在線