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溫控型真空感應(yīng)熔煉爐系列

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2024-09-27 08:41:05瀏覽次數(shù):45次

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型號(hào):SP-50KT//SP-85KTC產(chǎn)品概述:溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng),帶進(jìn)料前級(jí)系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置

型號(hào):SP-50KT // SP-85KTC

產(chǎn)品概述:溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng),帶進(jìn)料前級(jí)系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級(jí)腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi),而不影響主腔室的環(huán)境。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

溫控型真空感應(yīng)加熱爐系列


視頻
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操作視頻


型號(hào)

SP-50KT

      SP-85KTC

圖片23.png 圖片24.png


感應(yīng)電源

·工作電壓:380V,50Hz,三相

·空氣開關(guān):需要100A空氣開關(guān)

·輸入功率: 15KW

·輸出頻率:30-80kHz   

·保護(hù)系統(tǒng):帶有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)


圖片25.png

溫控系統(tǒng)和熱電偶

·精密數(shù)顯溫控系統(tǒng),采用PID調(diào)節(jié)方式

·可設(shè)置30段升降溫程序

·帶有過熱和斷偶保護(hù)

·控溫精度:±5 oC

·熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL ) 

·連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC

·溫度:2000oC(<30min)

·升溫速率: 

  1度/秒    1000-1200oC;

  1度/2秒  1200oC-1500oC ;

  1度/4秒  1500oC-2000oC

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石墨坩堝,耐火材料和防護(hù)罩

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·高純石墨坩堝:50mm(內(nèi)徑) * 40mm(外徑) *110mm(深),坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬

 

·容量:樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2

 

·可熔煉物料的質(zhì)量:最多0.6Kg(按純鐵的密度計(jì)算)

 

·可選:為對(duì)晶片熱處理,可定制石墨樣品臺(tái),可放置晶片尺寸為1.5''O.D * 1/8''T,因?yàn)槭珜?dǎo)熱率非常高,所以可使放置的晶片受熱均勻 

 圖片28.png

·保溫層:石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料,從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈,總厚度為32mm,石墨保溫毯(可耐溫2200℃)氧化鋁毯(耐溫1700℃)

 

·注意石墨坩堝是易耗件

·高純石墨坩堝:114mm(內(nèi)徑) * 100mm(外徑) *142mm(深),坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬  

 

·容量:樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2

 

·可熔煉物料的質(zhì)量:最多4Kg(按純鐵的密度計(jì)算)

 

·保溫層:石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料,從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈,總厚度為32mm,石墨保溫毯(可耐溫2200℃)氧化鋁毯(耐溫1700℃)

 

·注意: 石墨坩堝是易耗件


密封法蘭和石英腔體

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·兩端開口的石英管尺寸:130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L)

 

·頂部法蘭: 采用不銹鋼鉸鏈法蘭,帶有一1/4"的鎧裝接口(可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度)法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

 

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接

 

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管,以便與真空泵相連接

圖片30.png圖片31.png圖片32.png

·兩端開口的石英管尺寸: 216?mm(OD)?*?208?mm(ID)?*?500mm(L)

 

·頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭,帶有一1/4"的鎧裝接口(可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度)法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

 

·底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接

 

·儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管,以便與真空泵相連接

圖片33.png圖片34.png圖片35.png圖片36.png



真空計(jì)

·防腐真空計(jì),測(cè)量范圍3.8*10E-5托

·一個(gè)輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。


圖片37.png

浮子流量計(jì)

緊湊型直讀浮子流量計(jì),100-1000scc/min。精度:4%。


泄壓閥

為了安全考慮,在腔體內(nèi)安裝泄壓閥,當(dāng)壓力大于0.02MPa時(shí),閥門會(huì)自動(dòng)釋放壓力,保證安全。


循環(huán)水冷機(jī)(可選)

·溫度范圍:5~30℃

·水流量:16L/min

·水箱:不銹鋼材質(zhì),容積為12L。

 

注意:建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗(yàn)后,等待幾分鐘冷卻屬于正?,F(xiàn)象

圖片38.png

真空泵(可選)

·標(biāo)配一個(gè)2.2L/s的雙級(jí)旋葉片真空泵

·電壓:AC 208-240V 50Hz,單相

·功率:0.4KW


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另有多種真空泵,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊下圖選擇

圖片40.png

產(chǎn)品尺寸

整體機(jī)器外形尺寸:700(L)* 1300(W)* 1200(H)


圖片41.png

凈重

100Kg


質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如爐管,耐火材料,密封圈,石墨坩堝和感應(yīng)圈等不包含在內(nèi)。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。


認(rèn)證

圖片42.png

如果客戶需要通過MET認(rèn)證,需自行支付認(rèn)證費(fèi)用,具體價(jià)格請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表。

 

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)包括:1)感應(yīng)加熱器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水機(jī)組:UL61010 & UL1995


注意事項(xiàng)

·為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶,在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM

 

·C型熱電偶是耗材,不在我們的保修范圍內(nèi)

 

·熔融時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品,請(qǐng)聯(lián)系我們的工程師咨詢

 

·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi

 

·必須在氣缸上安裝減壓閥,將壓力限制在3psi以下,以保證安全運(yùn)行。點(diǎn)擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝

 

·當(dāng)出氣口關(guān)閉,爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí),不要加熱爐子。在加熱過程中,必須使用壓力表來密切監(jiān)測(cè)室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi,請(qǐng)立即打開氣體釋放閥門,以防止不可預(yù)見的損壞


應(yīng)用

·PVT(物理蒸氣運(yùn)輸)系統(tǒng)通過改變一個(gè)合適的坩堝,使其能夠成為生長(zhǎng)長(zhǎng)型碳化硅晶體,請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片或問我們的工程師如何

 

·此設(shè)備可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng),請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看,如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們

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