射頻發(fā)生器(RF)
(1)電路類型:電容三點(diǎn)式自激振蕩電路。
(2)工作頻率:40.68MHz
(3)頻率穩(wěn)定性:<0.1%
(4)輸出功率:800-1200W
(5)輸出功率穩(wěn)定性:≤0.3%
(6)電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度:距機(jī)身30cm
電場(chǎng)強(qiáng)度E:<2V/m
進(jìn)樣裝置
(1)輸出工作線圈內(nèi)徑25mm.3匝
(2)炬管:三同心型.外徑20mm的石英炬管
(3)同軸型噴霧器外徑6mm
(4)雙筒形霧室外徑34.5mm
(5)氣路:
①等離子氣流量計(jì)(100—1000)L/h (1.6—16L/min)
②輔助氣流量計(jì) (10-100)L/h (0.16—1.66L/min)
③載氣流量采用質(zhì)量流量計(jì) 由計(jì)算機(jī)控制 (0—5L/min)
分光器
(1)光路:Czerny—Turner
(2)焦距: 1000mm
(3)光柵規(guī)格:離子刻蝕全息光柵,刻線密度3600線/mm,刻線面積:80×1 10mm2
(可選用刻線密度2400線/mm,刻線面積:80×1 10mm2)
(4)線色散率倒數(shù):0 26nm/mm (刻線密度3600線/mm)
(5)分辯率:≤0.008nm (刻線密度3600線/mm)
(6)掃描波長范圍:3600線/mm掃描波長范圍:1 95—500nm
2400線/ram掃描波長范圍:1 95—800nm
(7)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)*小步距:0 0006nm
(8)出射、入射狹縫:20um
(9)反射鏡規(guī)格:(78×105×1 6)mm
(1 0)透鏡ф30,1:1成像
(1 1)分光器恒溫裝置:32。C±1。C
測(cè)光裝置
(1)光電倍增管規(guī)格:R21 2UH或R928
(2)光電倍增管負(fù)高壓:200—1000V穩(wěn)定性<0.05%
(3)光電倍增管電流測(cè)量范圍:1 0-4~1 0-9 A
(4)信號(hào)采集為V/F交換: 1 mV對(duì)應(yīng)100Hz
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