真空氣氛管式爐主要運(yùn)用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負(fù)極材料,新能源,LED發(fā)光材料,磨具等行業(yè)測定材料在一定氣氛條件下的專業(yè)設(shè)備。廣泛適用于高、中、低溫CVD 工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴(kuò)散焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。 真空氣氛管式爐的作用原理:
物體在通入一定氣體的爐膛內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結(jié),有助于燒結(jié)過程,提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。是在真空情況下,通入氣氛保護(hù)燒結(jié)物體在爐膛內(nèi)進(jìn)行燒結(jié)的方法。
真空氣氛管式爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結(jié),透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結(jié),氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮?dú)夥諢Y(jié)。有時(shí)為保護(hù)燒結(jié)調(diào)協(xié)也須在保護(hù)氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫,鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛管式爐設(shè)備特點(diǎn)有:
1.采用高純石英管或剛玉管作為爐膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度。
2.耐火、保溫材料全部采用*的輕質(zhì)纖維制品,整機(jī)質(zhì)量輕,能耗低。
3.加熱原件采用U型硅鉬(碳)棒或進(jìn)口電阻絲。
4.溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性和重復(fù)性。