主要特點
VT系列立式真空管式爐特爐管內(nèi)設計了微妙的氣氛噴射器可將實驗所需氣氛直接噴射在物料
處,有助于反應更充分,樣品平放在內(nèi)管上可以實現(xiàn)內(nèi)管和外管同時通氣體,平放的樣品有助于薄
膜生長,電極測試,溫度更均勻。該設備也具有可作為氧化物晶體生長,退火等功能。
技術參數(shù)
額定功率 | KW | 5 |
額定電壓 | V | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
Z高溫度 | ℃ | 1200(1 hour) |
持續(xù)工作溫度 | ℃ | ≤1100 |
推薦升溫速率 | ℃/min | ≤15℃/min |
爐管尺寸 | mm | 高純石英管Φ50×1000mm |
加熱區(qū)長度 | mm | 200+200 |
恒溫區(qū)長度 | mm | 100+100 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 | |
控溫精度 | ℃ | ±1 |
加熱元件 | OCr27A17MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲) | |
法蘭 | 訂制法蘭 | |
標準配置 | 高純石英管1根,氧化鋁管堵2只,不銹鋼密封法蘭1只,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支 | |
可選附件 | 石英管堵,石英坩堝,石英鉤 | |
認證標準 | ||
尺寸(長×寬×高) | mm | 590×380×500mm(裸機) 500×530×1280mm(含爐管法蘭爐架) |
包裝尺寸(長×寬×高) | mm | 620×650×1480 (木箱包裝) |
凈重 | Kg | 60 |
毛重 | Kg | 90 |