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更新時(shí)間：2023-06-02 09:21:06瀏覽次數(shù)：236次

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產(chǎn)品分類品牌分類

PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

主要特點(diǎn)這是一款針對太陽能硒化設(shè)計(jì)的專用爐，爐體上端腔體可以實(shí)現(xiàn)離子增強(qiáng)硒化功能，利用上下腔體內(nèi)的壓差實(shí)現(xiàn)硒化氣體均勻擴(kuò)散乘積在基體表面

詳情介紹

主要特點(diǎn)

這是一款針對太陽能硒化設(shè)計(jì)的專用爐，爐體上端腔體可以實(shí)現(xiàn)離子增強(qiáng)硒化功能，利用上下腔體內(nèi)的壓差實(shí)現(xiàn)硒化氣體均勻擴(kuò)散乘積在基體表面。上腔體溫度調(diào)節(jié)范圍50-600度，等離子強(qiáng)度0-500W可調(diào)，下腔體0-800度可調(diào)?？梢远ㄖ葡虑惑w連續(xù)工作。

技術(shù)參數(shù)

功率	上爐體：1.5kw
功率	下爐體：5kw
射頻功率	0-500W可調(diào)
爐膛尺寸	上腔體：100100100mm
爐膛尺寸	下腔體：240300100mm
爐膛溫度	上腔體：50-600度可調(diào)
爐膛溫度	下腔體：50-800度可調(diào)
重量	220Kg
外型尺寸	12009001600mm