應用場合

管道的氣體--沼氣，煤氣，天然氣，液化氣，鍋爐預熱空氣。
石油與天然氣工業(yè)--燃氣計量，氣體質量分析，泄漏氣測試，天然氣測量。
電力行業(yè)--燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測量，鍋爐乃輔助系統(tǒng)中各種氣體的測量，燃氣爐中氣體測量，氫氣測量控制，電廠高爐的一次風，二次風的測量。
化學工業(yè)--煙氣循環(huán)測量，采樣系統(tǒng)中氣體流量計量控制。引風機的氣體流量計量控制，化肥廠氨氣測量控制，電池工廠各種氣體流量測量控制。
冷扎行業(yè)--鋼鐵廠加氣測量，煉鋼廠，高爐煤氣測量，焦化廠焦爐煤氣的測量控制，軋鋼廠加熱爐燃氣的測量控制，熱處理爐的氫，氧，氮等氣體的控制。
食品及醫(yī)療行業(yè)--熱氧化過程中氣體流量測量控制，通風系統(tǒng)鍋爐進氣，廢棄，二氧化碳的處理等。
系統(tǒng)集成商 特殊氣體廠商，真空元件供應商，真空系統(tǒng)集成商，電池系統(tǒng)集成商，生化系統(tǒng)集成商，氣體裝配流水線集成商，大學實驗室，科研機構實驗室，氣體公司，研發(fā)機構。
典型應用--電子工業(yè)設備，如氧化，CVD,擴散，外延，等離子蝕刻，離子注入和濺射，以及微反應裝置，配氣和混氣系統(tǒng)，鍍膜設備，光釬熔煉，氣相色譜以及其他分析儀器。

注意事項
對于反應系統(tǒng)，建議在氣體質量流量計控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下 反應物倒流損壞質量流量計控制器。
對于高壓系統(tǒng)，應在氣體質量流量計控制器的下游加裝背壓閥，保證氣體質量流量計的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源，延長質量流量計控制器的使用壽命。
對于硅烷這樣的遇氣體易形成結晶的氣體，應特別注意系統(tǒng)的密閉性，必要時設計清洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或過壓保持。
有高頻源的系統(tǒng)應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。
對于高真空系統(tǒng)注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭
質量流量計控制器的安裝位置應易于裝卸，檢測，調零并安全可靠。
對精度特殊要求*的系統(tǒng)應注意冗余設計
注意正確使用操作.對于比較復雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng)，應當建立自己的操作規(guī)程。
注意輕拿輕放妥善保管，質量流量控制器非常精密，應避免受到撞擊和震動，產品不用時注意放在較好環(huán)境中妥善保管。
注意定期標定，如果自帶標定裝置可以省去。
注意使用氣體與流量計的密封材料相適應。
質量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應大多數氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕氣體，但對于氨氣必須使用耐氨橡膠，對于有機溶劑類氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對于使用三氯化硼，三溴化硼等強腐蝕性介質，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計用戶在訂貨時必須注意

產品特點 & 技術指標





產品創(chuàng)新點

進口傳感器芯片技術
ZF—MFC-質量流量計控制器采用了進口傳感器.使精度，溫漂，環(huán)境的劇烈變化影響得到極大的提高

無毛細管技術
通氣口徑達到6mm,對粘度較大，含雜質氣體能保證精度。如硫化氫氣體等。

超微流量控制
最小流量分辨率0.01ml/min 并能精確控制

觸摸屏功能
ZF—MFC-2產品采用，所有量程，氣體切換一鍵搞定，操作方法一目了然，并有中英文可隨意選擇，強大的操作功能,可以*兼容所有廠家的客戶端接口

高精度 快響應
ZF—MFC-3質量流量計控制器,產品準確度采用設定點精度，顯示精度，標定精度三點精度可達0.5%FS，響應時間≤200ms