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長春市博盛量子科技有限公司
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更新時間:2024-08-21 08:16:32瀏覽次數(shù):65次
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產品型號:ATLEX-S品牌名稱:德國ATLLasertechnikATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源,設計用于低、中占空比的OEM應用
產品型號:ATLEX-S
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源,設計用于低、中占空比的OEM應用。
產品特點:
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預電離技術
· HV-固態(tài)脈沖發(fā)生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷,溫度控制
· 系統(tǒng)集成RS485,RS232,USB和FOC接口
· 方便清洗的光學鏡架
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· RoHS認證
產品應用:
· 光譜學
· 微加工
· 測試和測量
產品參數(shù):
ATLEX-S產品參數(shù) | |||||
氣體介質 | ArF | KrF | 單位 | ||
波長 | 193 | 248 | nm | ||
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | 固態(tài)開關 | | ||
重復頻率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
脈沖能量1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |||
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |||
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
能量穩(wěn)定性(標準偏差) | < 3 | % | |||
尺寸(長x寬x高) | 630 x 400 x 300 | mm | |||
重量 | 65 | kg | |||
冷卻 | Air | | |||
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據,如有因產品改進而更改的,恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM
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