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中科院微電子KW-4T觸屏型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/片托吸盤(pán)配件

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產(chǎn)品型號(hào)KW-4T型

品牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-07-30 07:42:22瀏覽次數(shù)：99次

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  常規(guī)儀器

低溫設(shè)備

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中科院微電子KW-4T觸屏型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/片托吸盤(pán)配件

詳細(xì)介紹

中科院微電子KW-4T觸屏型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x
        > 基片尺寸φ5-φ100mm圓片、100x100mm2方片
        > 轉(zhuǎn)速：250-9000轉(zhuǎn)/分
        > 特點(diǎn): 任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
        > 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：<±1%，膠的均勻性<±1%
        > 勻膠階段：6段
        > 勻膠時(shí)間：每個(gè)階段0-1800S可調(diào)
        > 電機(jī)功率：40W
        > 整機(jī)尺寸（長(zhǎng)寬高）：210mm×280mm×248mm
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料