日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA詳細(xì)介紹
日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀（EDS茫澈嫌諞惶?。结构紧幢K腅DS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。
操作窗口：
直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶：
單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像：
畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像。可同時(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量：
適合于多種測(cè)量功能。可在觀察圖像上慕詠脅飭?。也可将诧喛结果贴至SEM圖像，保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析，配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。
維護(hù)簡(jiǎn)便：
工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步鈾得鰲Ⅻbr /> 可信賴的真空系統(tǒng)：
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。

日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/ JSM-6510LA型的JSM-6510規(guī)格

保證分辨率	3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍數(shù)	5至300,000x
加速電壓	0.5kV至30kV
電子槍	工廠預(yù)對(duì)中燈絲
聚光鏡	變焦聚光鏡
物鏡	錐形物鏡
樣品臺(tái)	全對(duì)中樣品臺(tái)
X-Y	80mm-40mm
Z	5mm至48mm
旋轉(zhuǎn)	360°
傾斜	－10°至＋90°
排氣系統(tǒng) （高真空模式）	DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng) （低真空模式）	DPx1，RPx2

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡電子顯微鏡元素分析儀顯微鏡監(jiān)視器

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