三豐表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)xSV-C310/4100大幅提高的驅(qū)動(dòng)速度(X 軸: 80 mm/s, Z2 軸立柱: 20mm/s) 進(jìn)一步減少了總的測(cè)量時(shí)間。為了更長(zhǎng)時(shí)間地保持直線度，三豐公司采用了抗老化且極耐磨的堅(jiān)固的陶瓷導(dǎo)軌；驅(qū)動(dòng)器 (X 軸) 和立柱 (Z2 軸) 均配備了高精度線形編碼器 (其中Z2 軸上為ABS 型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動(dòng)測(cè)量、對(duì)較難定位部件的重復(fù)測(cè)量的重復(fù)精度得以提高。
三豐表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)xSV-C310/4100特點(diǎn)
- 電動(dòng)型支柱，觸針式輪廓形狀、表面粗糙度測(cè)量?jī)捎脧?fù)合機(jī)。
- 輪廓形狀測(cè)量用Z軸檢出器搭載Holographic光學(xué)尺（SV-C4100）、反射型光學(xué)尺（SV-C3100）。表面粗度測(cè)量用Z軸檢出裝置，可對(duì)應(yīng)ISO/新JIS。
- 檢出器的滑動(dòng)部為2段式，可提升檢出器交換時(shí)的操作性。
- 資料處理軟體，可做高難度的輪廓形狀、粗度的評(píng)價(jià)解析。
- 資料處理裝置的通訊系統(tǒng)使用RS-232C。
- 表面粗糙度測(cè)量直線度:±(0.05+0.001L)μm*專(zhuān)用于需要高精度測(cè)量的工件，L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
- 符合JIS'82/'94/'01,ISO,ANSI,DIN,VDA等表面粗糙度的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
三豐表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)xSV-C310/4100技術(shù)參數(shù)
輪廓測(cè)量
X軸測(cè)量范圍:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:80mm/s、外加手動(dòng)
測(cè)量速度:0.02-5mm/s
移動(dòng)方向:向前／向后
直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm*以X軸為水平方向上
直線位碟±(1+0.01L)μm(SV-C3100S4,H4,W4)
精度(20°C時(shí))±(0.8+0.01L)μm(SV-C4100S4,H4,W4)；±(1+0.02L)μm(SV-C3100S8,H8,W8)；±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8,H8,W8) *L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾角范圍:±45°Z2軸(噸?
垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測(cè)方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:0-20mm/s、外加手動(dòng)Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍:±25mm
分辨率:0.2μm(SV-C3100), 0.05μm(SV-C4100)
檢測(cè)方碟線性編碼器(SV-C3100), 激光全息測(cè)微計(jì)(SV-C4100)
直線位移:±(2+I4HI/100)μm(SV-C3100)精度(20°C時(shí))±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100)*H:基于水平位置的測(cè)量高度(mm) 測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形移動(dòng)
測(cè)針?lè)较?向上／向下
測(cè)碟30mN
跟蹤角度:向上:77°,向下:87°(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭，依表面粗糙度而定)測(cè)針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金
表面粗糙度測(cè)量
X1軸 測(cè)量范圍:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:80mm/s
移動(dòng)方向:向后
直線度:(0.05+1.5L/1000)μm(S4,H4,W4型)0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)Z2軸(立柱)
垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測(cè)方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:0-20mm/s、外加手動(dòng)檢測(cè)器
范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測(cè)頭選件)
檢測(cè)方法:無(wú)軌／有軌測(cè)量
測(cè)力:4mN或0.75mN(低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:金剛石、90o/5μmR(60o/2μmR:低測(cè)力型)
導(dǎo)頭曲率半徑:40mm
檢測(cè)方法:差動(dòng)電感式
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