蔡司掃描電子顯微鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。

一、蔡司掃描電子顯微鏡EVO MA 25/LS 25技術(shù)參數(shù)

1、分辨率：2.0nm@30KV(SE with Lab6 option) 3.0nm@30KV(SE and W) 4.5nm@30KV(VP with BSD)

2、加速電壓：0.2—30KV

3、放大倍數(shù)：5—1000000x

4、視野范圍：6mm

5、X-射線參數(shù)：8.5mm WD，35度接收角

6、壓力范圍：10—400Pa (LS25-3000Pa)

7、工作室：420mm(φ)×330mm(h)

8、5軸試樣載物臺(tái)：X=130mm Y=130mm Z=50mm T=0-90°R=360°

9、試樣高度：210mm，試樣直徑：300mm

10、系統(tǒng)控制：基于Windows XP 的SmartSEM

二、蔡司掃描電鏡EVO MA 25/LS 25主要特點(diǎn)

1、的樣品高度可達(dá)210mm

2、樣品重量5Kg

3、的樣品直徑300mm

4、能在可變壓力下操作

5、高亮度LaB6資源選擇

6、光線套選擇

三、蔡司掃描電鏡EVO MA 25/LS 25技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 在z軸上可機(jī)動(dòng)化的移動(dòng)50mm并且在X和Y軸上可移動(dòng)130mm

2. 通用圖像處理

3. 用X射線分析改進(jìn)了LaB6成像質(zhì)量

4. 支持兩個(gè)空間的范圍

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡化學(xué)材料電子顯微鏡

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