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KOSAKA探針式輪廓儀ET4000

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產(chǎn)品型號ET4000

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更新時間：2023-05-15 21:18:53瀏覽次數(shù)：181次

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上海百賀儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性。

詳細介紹

日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?，?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點
1. 具有良的臺階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；

5. 即時監(jiān)控系統(tǒng)：配置標準CCD，可即時監(jiān)控量測位置；還可選購Top View CCD，進行高精度定位量測；

6. 可擴充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測定臺階移動量；

7. 采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；

日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)

型號		ET4000M	ET4000A	ET4000L
樣品尺寸		300x300mm	210x210mm	300x400mm
樣品臺	尺寸	320x320mm	220x220mm	540x400mm
	X軸傾斜度	±1mm/150mm(機動傾斜）
	Y軸傾斜度	——	±1mm/150mm(機動傾斜）
	承重	2Kg
檢出器	力	0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié)
	范圍	100μm
	驅(qū)動	LVDT直動式（差動變壓器）
	觸針	ET-1479(R2μm)	ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
X軸	測長	100mm
	直線度	0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
	速度	0.005-2mm/s(定位速度10mm/s）
	重復(fù)性	±5μm（定位）
Y軸	測長	——	150mm	400mm
	直線度	——	5μm/150mm
	重復(fù)性	——	±5μm（定位）
Z軸	測長	52mm
放大倍數(shù)	垂直	50-2000000
	水平	1-10000
3D		——	可選擇
θ軸		——	可選擇
輔助功能		教學(xué)、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等
監(jiān)控系統(tǒng)	攝像裝置	1/2 inch CCD (768x494像素）
	監(jiān)視裝置	視頻捕捉板
應(yīng)用		成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復(fù)性		1σ0.5nm
電源		AC100V 800VA
外觀尺寸		W660xD580xH660mm 200Kg		W930xD930xH790mm 380Kg