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Leica EM RES102 多功能離子減薄儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對(duì)無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對(duì)無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。

詳細(xì)介紹

  簡(jiǎn)介
  Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對(duì)無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對(duì)無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。
 
 
  主要技術(shù)優(yōu)勢(shì):
  操作簡(jiǎn)便
  ● 19“觸摸屏電腦控制單元,監(jiān)控并記錄制樣過程
  ● 內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫(kù)
  ● 程序化制樣參數(shù)設(shè)定,加速初學(xué)者學(xué)習(xí)曲線
  ● 幫助文件幫助初學(xué)者以及對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)
 
  高效/節(jié)約成本
  ● TEM,SEM和LM應(yīng)用功能集于一體
  ● TEM樣品制備獲得的薄區(qū)大,有效提高了TEM樣品制備效率
  ● SEM樣品制備可達(dá)25mm樣品直徑
  ● 預(yù)抽室系統(tǒng)幫助快速交換樣品,減少等待時(shí)間,并保證了樣品室的持續(xù)高真空
  ● 局域網(wǎng)功能方便遠(yuǎn)程操控
  ● LN2樣品臺(tái)使得溫度敏感型樣品可在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨
 
  安全
  ● 精確的自動(dòng)終止功能,適用于光學(xué)終止或透明樣品的法拉第杯終止
  ● 在制樣過程中可以時(shí)時(shí)存儲(chǔ)活圖像或視頻
  ● 離子源和樣品運(yùn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng),程序化控制,因而可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果
 
  主要技術(shù)參數(shù):
  ● 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對(duì)位置,可分別±45°傾斜,樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ))
  ● 可選配樣品臺(tái):TEM樣品臺(tái)(φ3.0mm或φ2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),SEM樣品臺(tái),斜坡切割樣品臺(tái)(對(duì)樣品35°或90°斜坡切割)等
  ● SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
  ● 全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
  ● 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程

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