	BIO3.100	BIO3.200	BIO3.300
運(yùn)動(dòng)范圍XYZ（µm）	100	200	300
分辨率XYZ（nm）	0,1	0,2	0,3
典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ（nm）	0,01	0,02	0,03
的重復(fù)性XYZ（nm）	0,2	0,4	0,6
線性化（典型的）	0,02%	0,02%	0,02%
諧振頻率X / Y / Z（赫茲）	500/400/400	400/350/300	300/250/250
剛度 X/Y/Z (N/µm)	0,6/0,5/0,5	0,5/0,4/0,4	0,4/0,3/0,3
負(fù)載（kg）-水平使用	1	1	1
負(fù)載（kg）-垂直使用	0,5	0,5	0,5
傳感器	Silicon HR sensor	Silicon HR sensor	Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)	152,5 x 213 x 20,45	152,5 x 213 x 20,45	152,5 x 213 x 20,45
材料	Al or Invar	Al	Al
電纜長(zhǎng)度（m）	2	2	2
推薦控制器	Standard	Standard	Standard

關(guān)鍵詞：傳感器

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