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高溫電爐管式爐滑軌爐 1100℃管式爐石墨烯生長(zhǎng)爐石英封裝爐

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FGL（RTP）滑軌式管式爐(Tmax1100℃)滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的

詳細(xì)介紹

FGL（RTP）滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動(dòng)到樣品處，達(dá)到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點(diǎn)

1、工作溫度RT～1000℃。

2、智能程序控溫儀控制精準(zhǔn),可編輯、儲(chǔ)存并調(diào)用多段程序。

3、采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

4、爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

5、不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥。

6、兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)石英管的使用壽命。

7、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動(dòng)斷電。

8、安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。

額外選配爐內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)（氧含量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；

氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；

監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；

注：選件需配置拓展柜體；

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備常規(guī)型號(hào)	高溫度	管徑	加熱區(qū)	溫區(qū)數(shù)	熱電偶	電壓	功率
FGL(RTP)-40/11/1	1100℃	40mm	320 mm	1個(gè)	K型	220V	3、0KW
FGL(RTP)-50/11/1	1100℃	50mm	320 mm	1個(gè)	K型	220V
FGL(RTP)-60/11/1	1100℃	60mm	320 mm	1個(gè)	K型	220V
FGL(RTP)-80/11/1	1100℃	80mm	320 mm	1個(gè)	K型	220V