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JSM-7610FPlus 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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JSM-7610FPlus,用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒(méi)式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀察微細(xì)結(jié)構(gòu)和進(jìn)行微區(qū)元素分析。

詳細(xì)介紹

JSM-7610FPlus,用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡, 是一款采用半浸沒(méi)式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,能觀察微細(xì)結(jié)構(gòu)和進(jìn)行微區(qū)元素分析。

技術(shù)指標(biāo):

特點(diǎn)

半浸沒(méi)式物鏡

超高空間分辨率(1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm)

利用新一代r-過(guò)濾器選擇能量

自由選擇二次電子和背散射電子

利用LABE 檢測(cè)器獲取低角度背散射電子像

選擇通道襯度和來(lái)自樣品表面的信息

浸沒(méi)式肖特基電子槍

提供分析時(shí)需要的大電流(200 nA 15 kV),壽命長(zhǎng)(發(fā)射體保證3 年)

豐富的附件

可以安裝EDS、WDS、STEM、CL 等多種附件

半浸沒(méi)式物鏡的示意圖

半浸沒(méi)式物鏡在樣品周?chē)纬蓮?qiáng)磁場(chǎng),因而可以獲得超高分辨率。

超高分辨率觀察實(shí)例

柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

柔和電子束模式(GB 模式)通過(guò)給樣品施加負(fù)電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓,因此可以在低加速電壓下( 100 V)進(jìn)行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小,就會(huì)容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu),能減少對(duì)熱敏樣品的損傷,可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。

JSM-7610FPlus 在 GB 模式下(1 kV)的分辨率為 1.0 nm。

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

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