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Transpector MPS 殘余氣體分析儀

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產(chǎn)品簡介

Transpector MPS 殘余氣體分析儀Transpector MPS 殘余氣體分析儀氣體分析標(biāo)準(zhǔn)為一般真空應(yīng)用帶來性能和非凡價(jià)值隨著制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的變更，了解相關(guān)過程和保持產(chǎn)品質(zhì)量比以往任何時(shí)候都顯得更為重要。Transpector MPS 能夠通過過程條件監(jiān)控、污染檢測和泄露檢查，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品......

詳細(xì)介紹

Transpector MPS 殘余氣體分析儀

氣體分析標(biāo)準(zhǔn)

為一般真空應(yīng)用帶來性能和非凡價(jià)值
隨著制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的變更，了解相關(guān)過程和保持產(chǎn)品質(zhì)量比以往任何時(shí)候都顯得更為重要。Transpector
MPS 能夠通過過程條件監(jiān)控、污染檢測和泄露檢查，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品牌可靠的、價(jià)值非凡的
RGA 性能。

Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型號(hào)，使您能夠靈活地執(zhí)行一般泄露檢測、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治龅雀鞣N功能。此多功能性使 Transpector MPS
成為真空爐、熱處理和真空涂層應(yīng)用的理想選擇。

功能

雙絲極
可現(xiàn)場更換電子倍增器
可現(xiàn)場更換陽極、陰極和反射極絲極組件
可調(diào)換傳感器和電子元件
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
模擬掃描和所選峰值的 3 ms 每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
<1.5E-14 Torr 的 MDPP
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類型	MPS100F	MPS100M	MPS200F	MPS200M
傳感器長度	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
質(zhì)量范圍	100 amu	100 amu	200 amu	200 amu
檢測器類型	FC	EM	FC	EM
靈敏度 (FC)	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM)	NA	500 amps/Torr	NA	500 amps/Torr
最小可檢測分壓	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC)	200 °C	NA	200 °C	NA
傳感器工作溫度(EM)	NA	150 °C	NA	150 °C
絲極類型選件	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide
溫度系數(shù) (2)	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率	3 ms	3 ms	3 ms	3 ms
零沖擊（位于質(zhì)量 2）	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm
工作壓力	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
烘烤溫度	300 °C	300 °C	300 °C	300 °C
功率輸入	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC