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深圳維爾克斯光電有限公司


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OP800壓電納米物鏡聚焦臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2024-02-07 09:08:47瀏覽次數(shù):116次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

OP800壓電納米物鏡聚焦臺,采用電容反饋傳感器,具有市場的定位精度和分辨率,其市場的定位精度和分辨率源于其的機械設(shè)計和集成的電容反饋傳感器。

詳細介紹

OP800壓電納米物鏡聚焦臺,800um閉環(huán)行程,2.5nm分辨率




OP800壓電納米物鏡聚焦臺由于功能性也可以叫做電動Z軸,是英國Prior旗下子公司Queenstage生產(chǎn)的物鏡對焦模塊,型號為NanoScan OP800。NanoScan OP800的機械設(shè)計和集成的電容反饋傳感器,使該產(chǎn)品具有市場的定位精度和分辨率,可提供在納米物鏡定位中較快的步進與穩(wěn)定時間,


OP800納米壓電物鏡定位臺 的規(guī)格參數(shù)

規(guī)格

參數(shù)

材質(zhì)

不銹鋼和鋁

閉環(huán)行程

800 um

分辨率

2.5 nm(250 g載重)

線性度

0.01%

重復(fù)性

5 nm 低PID,100 um step1SD

物鏡載重

500g(更高載重可以咨詢)

負載諧振頻率

150 g/250 g/500 g 負載

86/82/42 Hz

5%穩(wěn)定0.5 μm步進

150 g/250 g/500 g 負載

9 ms/17 ms/21 ms

5%(500 nm)穩(wěn)定100 μm步進

150 g/250 g/500 g 負載

51 ms/ 59 ms/70 ms

線纜長度

2 m

物鏡間距

40 mm

光路擴展

13 mm; 12 mm with M32


OP800壓電納米物鏡聚焦臺,作為納米物鏡定位的物鏡對焦模塊或者說電動Z軸,有800um閉環(huán)行程范圍(950um開環(huán)行程范圍)。此壓電物鏡定位臺由不銹鋼制成,提供更大的機械剛度和更高的溫度穩(wěn)定性。

OP800納米壓電物鏡定位臺 作為電動Z軸與大多數(shù)顯微鏡和物鏡兼容。該物鏡對焦模塊具有用戶可選配的設(shè)置,針對不同的物鏡尺寸、重量和性能需求進行優(yōu)化。用戶只需為其應(yīng)用程序選擇設(shè)置即可。

OP800納米物鏡掃描臺的特點

-800um閉環(huán)行程范圍(950um開環(huán)行程范圍)

-在較大重量下也能快速到響應(yīng)

-電容式定位傳感器為此納米物鏡定位器提供低納米級定位和分辨率穩(wěn)定性(低漂移)和可重復(fù)性

-堅固的結(jié)構(gòu)設(shè)計使OP800納米壓電物鏡定位臺 可以在常規(guī)配置下承載重物

-使用不銹鋼材料,提供更大的機械剛度(更快的速度)和溫度穩(wěn)定性(更低的漂移)

-可用于正置顯微鏡和倒置顯微鏡

-平臺是彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。無摩擦撓曲件設(shè)計用于提供高剛度并地減少離軸運動,從而提供高可重復(fù)性和更快的循環(huán)時間

-經(jīng)過測試,可以運行超過1000萬次完整范圍的周期。

-具有內(nèi)置級校準的連接器提供可互換的即插即用電子器件,縮短了系統(tǒng)停機時間

-自動在行程范圍內(nèi)進行中心校準,確保設(shè)備在所有適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下進行全范圍掃描


OP800壓電納米物鏡聚焦臺的主要應(yīng)用:

-用于光學(xué)切片生成3D圖像

-用于延時成像系統(tǒng)的自動對焦模塊

-高內(nèi)涵篩選

-表面分析

-晶圓檢測

-掃描干涉儀

-多光子顯微鏡


OP800納米壓電物鏡定位臺 的訂購信息

描述

QGOP-800-UP-D1

System incorporating NanoScan OP800 (0-500g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller

QGOP-800-INV-D1

System incorporating NanoScan OP800 (0-500g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller




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