190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀
基于的技術(shù)，法國Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點(diǎn)，即插即用的適用類型適用于大多數(shù)用戶的應(yīng)用環(huán)境。法國Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測波前分析儀，SID4-UV和SID4-UV-HR。
相比之下，SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜，250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求，相比于SID4-UV-HR更具備成本效益，在滿足用戶使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶成本。
其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強(qiáng)款，該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著的相位分辨率（355×280取樣分辨率）、的相位靈敏度（優(yōu)于1 nm RMS）以及更大的靶面面積（13.8 x 10.88 mm2）。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差，波前曲線的波前探測需求。
高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
-天文觀測
-航空航天工業(yè)
-半導(dǎo)體加工
-工業(yè)激光
-光學(xué)元件及組裝
-增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)-虛擬現(xiàn)實(shí)
SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：
| 型號(hào) | SID4-UV |
| 波長范圍 | 250 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm2 |
| 空間分辨率 | 29.6 µm |
| 取樣分辨率 | 250 x 250 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 精度 | 10 nm RMS |
| 取樣速度 | 30 fps |
| 實(shí)時(shí)處理速度* | > 2 fps (全分辨率下)* |
| 接口種類 | 以太網(wǎng)口 |
| 尺寸（寬x高x長） | 78 x 88.1 x 71.1 mm3 |
| 重量 | 約575g |
*使用電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器主要特點(diǎn)：
-190-400 nm紫外波段響應(yīng)
-1 nm RMS高相位靈敏度
-355 × 280超高相位取樣分辨率
紫外波前分析儀主要特點(diǎn)：
-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)
-2 nm RMS高相位靈敏度
-250 × 250超高相位取樣分辨率
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：
-激光檢測
-自適應(yīng)光學(xué)檢測
-等離子體檢測
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：
| 型號(hào) | SID4-UV-HR |
| 波長范圍 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 13.8 x 10.88 mm2 |
| 空間分辨率 | 38.88 µm |
| 取樣分辨率 | 355 x 280 |
| 相位分辨率 | 1 nm RMS |
| 精度 | 10 nm RMS |
| 取樣速度 | 30 fps |
| 實(shí)時(shí)處理速度* | > 3 fps (全分辨率下)* |
| 接口種類 | CameraLink |
| 尺寸（寬x高x長） | 51 x 51.1 x 76 mm3 |
| 重量 | 約300g |
*使用電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：
-激光檢測
-自適應(yīng)光學(xué)檢測
-等離子體檢測
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
-波前曲線檢測
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