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Minusk原子力顯微鏡隔振臺

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  隔震臺

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深圳維爾克斯光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

原子力顯微鏡需要納米級別的隔振要求，這在計(jì)量學(xué)上是極其嚴(yán)格的，為了擺脫建筑物和地面的振動對原子力顯微鏡觀測的影響，Minusk原子力顯微鏡隔振平臺至關(guān)重要。Minusk的隔振平臺憑借其負(fù)剛度技術(shù)使顯微鏡免除外界振動的影響，能夠工作在極其穩(wěn)定的狀態(tài)之下。因此每一個(gè)使用原子力顯微鏡的科研單位和機(jī)構(gòu)都應(yīng)該配備有Minusk原子力顯微鏡隔振平臺。

詳細(xì)介紹

MinusK Technology公司擁有的負(fù)剛度技術(shù)，制造以及銷售的隔振產(chǎn)品。隔振平臺(Vibration Isolation platform)，又稱減振平臺、隔振臺、隔震平臺和減震平臺等，是通過將建筑物以及樓層所產(chǎn)生的振動降低到的水平，從而使對振動敏感的儀器和設(shè)備能夠在的狀態(tài)下運(yùn)行。減振平臺被廣泛應(yīng)用于納米科技、生物科學(xué)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、材料研究、航天器零重力環(huán)境模擬和音頻。MinusK隔振平臺使用無源的手段，通過限制振動耦合到要隔離振動的對象來實(shí)現(xiàn)隔振，其隔振機(jī)制是通過機(jī)械連接方式進(jìn)行振動隔離，振動能量到達(dá)隔離對象之前將其消散以達(dá)到隔振效果。MinusK減震平臺通過使用彈簧和負(fù)剛度裝置來實(shí)現(xiàn)隔振。對于諧振頻率為1/2赫茲的系統(tǒng)，振動隔離頻率開始于1赫茲左右，并且隔振性能較振動隔離頻率開始于5至10赫茲的氣浮減振平臺好50至100倍。

顯微鏡需要納米和微米級的隔振要求，這在計(jì)量學(xué)上是極其嚴(yán)格的。為了擺脫實(shí)驗(yàn)室或無塵室的外界微小振動擾動和結(jié)構(gòu)噪聲對顯微鏡使用的影響，顯微鏡減振平臺至關(guān)重要，MinusK隔振臺通過負(fù)剛度技術(shù)以及無源技術(shù)使顯微鏡穩(wěn)定的工作在的性能狀態(tài)下。并且MinusK提供的隔振臺具有理想的蹦極系統(tǒng)以及便利的臺式結(jié)構(gòu)，可以解決許多與顯微鏡放置相關(guān)的安裝問題，適用于小型的顯微鏡，如原子力顯微鏡。對于原子力顯微鏡來說，隔振是必要的，原子力顯微鏡隔震臺能有效隔離建筑物的振動對原子力顯微鏡所造成的擾動，每一個(gè)使用原子力顯微鏡的科研機(jī)構(gòu)都應(yīng)使用MinusK的原子力顯微鏡隔震臺，從而獲得更高精度的圖像以及數(shù)據(jù)，實(shí)驗(yàn)人員從而無需擔(dān)心外部環(huán)境對顯微鏡造成的影響。

隔振平臺的主要特點(diǎn)：

-使用負(fù)剛度隔離技術(shù)

-可隔離低頻振動

-無源

-水平和垂直固有頻率可低至1/2赫茲

MinusK減振平臺是使用負(fù)剛度隔離技術(shù)的無源振動隔離裝置，無源裝置的成本通常低于有源裝置，并且可靠、安全以及操作簡單。在干涉測量、顯微鏡（包括SPM、SEM和AFM等）、納米加工和顯微硬度測試等的技術(shù)應(yīng)用中，減震平臺可以使儀器發(fā)揮出的性能。

隔振平臺的應(yīng)用領(lǐng)域：

-顯微鏡（SPM、SEM和AFM原子力顯微鏡等）

-微硬度測試/納米壓痕

-激光/光學(xué)系統(tǒng)

-航天器地面試驗(yàn)

-生物學(xué)/神經(jīng)科學(xué)

-微電子/微機(jī)電系統(tǒng)制造

-低溫恒溫器

-分析天平

-音頻再現(xiàn)

-真空隔離

-大排量系統(tǒng)

-重型系統(tǒng)

BM-10臺式隔振平臺：

BM-10臺式隔震臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震平臺的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，12英寸寬和深，并且無需空氣或電。它提供了1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

BM-10系列型號	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：310mm W x 310mm D x 117mm H
10BM-10	0 - 4.5 kg
25BM-10	4.5 - 14 kg
50BM-10	14 - 25 kg
75BM-10	22.5 - 36 kg
100BM-10	34 - 50 kg

BM-8臺式隔振平臺：

BM-8臺式隔震臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，并且無需空氣或電。這種減震平臺極易使用，。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

BM-8系列型號	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H
25BM-8	4.5 - 14 kg
50BM-8	11 - 25 kg
100BM-8	23 - 48 kg
125BM-8	40 - 59 kg
150BM-8	57 - 70 kg
175BM-8*	68 - 81.5 kg
200BM-8*	79.5 - 93 kg
225BM-8*	90.5 - 104 kg
250BM-8*	102 - 115.5 kg
*重量：約21 kg

BM-6臺式隔振平臺：

新的BM-6臺式隔震平臺比一個(gè)全尺寸的氣浮隔振臺提供了更好的性能，只有4.6英寸高，并且不需要空氣，這種新的減振平臺達(dá)到了一個(gè)新的價(jià)格點(diǎn)，并且非常易于使用。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和2.5赫茲的垂直固有頻率，并且無需空氣和電。

BM-6系列型號	載荷范圍
重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H
25BM-6	4.5 - 14 kg
50BM-6	11 - 25 kg
100BM-6	23 - 48 kg

BM-4臺式隔振平臺：

成本效益的臺式隔震平臺，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BM-4系列型號	載荷范圍
重量：約27 kg 尺寸：427mm W x 427mm D x 216mm H
25BM-4	0 - 11 kg
50BM-4	9 - 25 kg
100BM-4	23 - 48 kg
150BM-4	41 - 70 kg
200BM-4	63 - 93 kg

BM-1臺式隔振平臺：

容量的臺式減震平臺，一款經(jīng)濟(jì)高效的產(chǎn)品，承重高達(dá)680磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BM-1系列型號	載荷范圍
重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H
100BM-1	27 - 48 kg
150BM-1	41 - 70 kg
250BM-1	82 - 123 kg
350BM-1	132 - 168 kg
500BM-1	164 - 239 kg
650BM-1	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸
850BM-1	285 - 408 kg
1000BM-1	403 - 476 kg

BA-1臺式隔振平臺：

容量的臺式減震平臺，一款經(jīng)濟(jì)高效的產(chǎn)品，承重高達(dá)1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

BA-1系列型號	載荷范圍
重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H
100BA-1	27 - 48 kg
150BA-1	41 - 70 kg
250BA-1	82 - 123 kg
350BA-1	132 - 168 kg
500BA-1	164 - 239 kg
650BA-1	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸
850BA-1	285 - 408 kg
1000BA-1	403 - 476 kg

CT-2極薄低高度臺式隔振平臺：

緊湊型臺式減震平臺（CT-2）采用了MinusK的突破性技術(shù)，只需2.7英寸高的隔離平臺就可以獲得市場上性能。該隔震平臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺的10-100倍，并且無需空氣或電，它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標(biāo)志性的1/2赫茲垂直固有頻率。

CT-2系列型號	載荷范圍
重量：約13.6 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 68.6mm H
30CT-2	8.2 - 14 kg
60CT-2	19 – 31.7 kg
100CT-2	31 - 47 kg
150CT-2	51 – 71.5 kg
200CT-2	70.5 – 95.2 kg
250CT-2	93 – 114.3 kg

WS-4緊湊型隔振平臺：

一個(gè)經(jīng)濟(jì)有效的隔震平臺，承重高達(dá)1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。

WS-4系列型號	載荷范圍
總重量：約62 kg 隔振器重量：約36 kg 支架重量：25 kg 尺寸：610mm W x 610mm D x 838mm H
100WS-4	27 - 48 kg
150WS-4	41 - 70 kg
350WS-4	82 - 123 kg
500WS-4	132 - 168 kg
500WS-4	164 - 239 kg
650WS-4	227 - 309 kg
重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸
850WS-4	285 - 408 kg
1000WS-4	403 - 476 kg

MK26符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的超低頻隔振平臺和工作站

由不同型號的BM-1所設(shè)計(jì)的隔振工作站，可設(shè)計(jì)為無孔結(jié)構(gòu)，無添加桌面材質(zhì)的蜂巢結(jié)構(gòu)的載荷范圍如下表所示：

MK26系列型號	載荷范圍
MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-01-XX: 250BM-1	33 kg -74 kg
MK2602-01-XX: 350BM-1	83 kg -119 kg
MK2603-01-XX: 500BM-1	115 kg -190 kg
MK2604-01-XX: 650BM-1	178 kg -260 kg
MK26-76cm X 91cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK2605-01-XX: 850BM-1	223 kg - 345 kg
MK2606-01-XX: 1000BM-1	341 kg - 413 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-22-XX: 250BM-1	0 kg - 39 kg
MK2602-22-XX: 350BM-1	48 kg - 84 kg
MK2603-22-XX: 500BM-1	80 kg -155 kg
MK2604-22-XX: 650BM-1	143kg -225 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK2605-22-XX: 850BM-1	179 kg - 301 kg
MK2606-22-XX: 1000BM-1	297 kg - 369 kg

桌面材質(zhì)選擇，包括白色塑料、不銹鋼、黑色塑料、防靜電層，改變桌面材質(zhì)的載荷范圍如下表所示：

MK26系列型號	載荷范圍
MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-01-XX: 250BM-1	23 kg - 64 kg
MK2602-01-XX: 350BM-1	73 kg - 110 kg
MK2603-01-XX: 500BM-1	105 kg - 180 kg
MK2604-01-XX: 650BM-1	169 kg - 250 kg
MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm
MK2601-22-XX: 250BM-1	0 kg - 23 kg
MK2602-22-XX: 350BM-1	32 kg - 69 kg
MK2603-22-XX: 500BM-1	69 kg - 139 kg
MK2604-22-XX: 650BM-1	127 kg - 209 kg

MK52符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的超低頻光學(xué)平臺和工作站

由不同型號的BM-1所設(shè)計(jì)的隔振工作站，可設(shè)計(jì)為無孔結(jié)構(gòu)，無添加桌面材質(zhì)的蜂巢結(jié)構(gòu)載荷范圍如下表所示：

MK52系列型號	載荷范圍
MK52-91cm X 122cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5201-3648-XX: 250BM-1 2英寸	90 kg - 172kg
MK5201-3648-XX: 250BM-1 4英寸	67 kg - 148 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1 2英寸	190 kg - 262 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1 4英寸	166 kg - 239 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1 2英寸	253 kg - 403 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1 4英寸	230 kg - 380 kg
MK5204-3648-XX: 650BM-1 4英寸	357 kg - 520 kg
MK5205-3648-XX: 850BM-1 4英寸	475 kg - 720 kg
MK5206-3648-XX: 1000BM-1 4英寸	711 kg - 856 kg
MK52-91cm X 152cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5 cm
MK5201-3660-XX: 250BM-1 2英寸	67 kg - 148 kg
MK5201-3660-XX: 250BM-1 4英寸	37 kg - 119 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1 2英寸	166 kg - 239 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1 4英寸	137 kg - 210 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1 2英寸	230 kg - 380 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1 4英寸	200 kg - 350 kg
MK5204-3660-XX: 650BM-1 4英寸	327 kg - 491 kg
MK5205-3660-XX: 850BM-1 4英寸	445 kg - 690 kg
MK5206-3660-XX: 1000BM-1 4英寸	681 kg - 826 kg
MK52-91cm X 183cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5201-3672-XX: 250BM-1 2英寸	43 kg - 125 kg
MK5201-3672-XX: 250BM-1 4英寸	8 kg - 89 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1 2英寸	143 kg - 215 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1 4英寸	108 kg - 180 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1 2英寸	206 kg - 356 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1 4英寸	171 kg - 321 kg
MK5203-3672-XX: 650BM-1 4英寸	298 kg – 461 kg
MK5205-3672-XX: 850BM-1 4英寸	416 kg - 661 kg
MK5206-3672-XX: 1000BM-1 4英寸	652 kg - 797 kg
MK52-91cm X 244cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-3696-XX: 350BM-1 4英寸	49 kg - 121 kg
MK5203-3696-XX: 500BM-1 4英寸	112 kg - 262 kg
MK5204-3696-XX: 650BM-1 4英寸	239 kg - 403 kg
MK5205-3696-XX: 850BM-1 4英寸	357 kg - 602 kg
MK5206-3696-XX: 1000BM-1 4英寸	593 kg - 738 kg
MK52-122cm X 152cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4860-XX: 350BM-1 4英寸		88 kg - 161 kg
MK5203-4860-XX: 500BM-1 4英寸		151 kg - 301 kg
MK5204-4860-XX: 650BM-1 4英寸		279 kg - 442 kg
MK5205-4860-XX: 850BM-1 4英寸		396 kg - 641 kg
MK5206-4860-XX: 1000BM-1 4英寸		632 kg - 777 kg
MK52-122cm X 183cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4872-XX: 350BM-1 4英寸		49 kg - 121 kg
MK5203-4872-XX: 500BM-1 4英寸		112 kg - 262 kg
MK5204-4872-XX: 650BM-1 4英寸		239 kg - 403 kg
MK5205-4872-XX: 850BM-1 4英寸		357 kg - 602 kg
MK5206-4872-XX: 1000BM-1 4英寸		593 kg - 738 kg
MK52-122cm X 244cm框架帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm
MK5202-4896-XX: 350BM-1 4英寸		0 kg - 43 kg
MK5203-4896-XX: 500BM-1 4英寸		34 kg - 184 kg
MK5204-4896-XX: 650BM-1 4英寸		161 kg - 324 kg
MK5205-4896-XX: 850BM-1 4英寸		279 kg - 524 kg
MK5206-4896-XX: 1000BM-1 4英寸		515 kg - 660 kg

桌面材質(zhì)選擇，包括白色塑料、不銹鋼、黑色塑料、防靜電層，改變桌面材質(zhì)的載荷范圍如下表所示：

MK52系列型號	載荷范圍
MK52-91cm X 122cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3648-XX: 250BM-1	74 kg - 156 kg
MK5202-3648-XX: 350BM-1	174 kg - 247 kg
MK5203-3648-XX: 500BM-1	238 kg - 387 kg
MK5204-3648-XX: 650BM-1	365 kg - 528 kg
MK52-91cm X 152cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3660-XX: 250BM-1	47 kg - 129 kg
MK5202-3660-XX: 350BM-1	147 kg - 219 kg
MK5203-3660-XX: 500BM-1	210 kg - 360 kg
MK5204-3660-XX: 650BM-1	337 kg - 501 kg
MK5205-3660-XX: 850BM-1	455 kg - 700 kg
MK52-91cm X 183cm框架帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm
MK5201-3672-XX: 250BM-1	20 kg - 101 kg
MK5202-3672-XX: 350BM-1	119 kg - 192 kg
MK5203-3672-XX: 500BM-1	183 kg - 333 kg
MK5203-3672-XX: 650BM-1	310 kg - 473 kg

用于大型顯微鏡的FP-1地面式隔振平臺（定制隔振平臺）：

FP-1由一個(gè)大鋼制平臺，兩個(gè)到三個(gè)MinusK SM-1負(fù)剛度隔振器，連接隔振器與平臺的支架，隔振器地面和用于分散隔振器地面以及壓載物重量的螺旋千斤鼎構(gòu)成。該隔震平臺適用于大型顯微鏡，并且該隔振系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率，此外，系統(tǒng)大的重量有助于減少連接到顯微鏡上的外部線路，電纜，軟管對隔離系統(tǒng)的影響。

顧客傾向于自行組裝此減震平臺的可以購買此套SM-1負(fù)剛度隔振器的設(shè)計(jì)方案，并在當(dāng)?shù)刈孕薪M裝平臺以節(jié)省制造以及運(yùn)輸成本。