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日本電子JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產品簡介

日本電子JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細介紹

JSM-7500F場發(fā)射掃描鏡配備了冷場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達到的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。
強大的通用性與分辨率的組合
JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠將電子束聚焦得很細，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以極低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式（柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現(xiàn)的。。
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標準SB（二次電子檢測）模式、標準BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。