此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗的通用開發(fā)平臺。系統(tǒng)中包括：半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元，配套有完整的運動控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件?？梢愿鶕?jù)客戶不同的需求，實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗等功能。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

說明：

半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗設(shè)備特點：

系統(tǒng)包含完整的裝夾和對位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶實際需求定制
控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點圖形、進(jìn)行不同的操作動作
可對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
多工位配置，提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計規(guī)格，技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn)）

指標(biāo)	參數(shù)
機(jī)器視覺分辨率(μm)	0.1
顯微鏡倍率	0.5~4.5
攝像頭分辨率	2048×1536
幀率（fps）	15
攝像頭類型	單色
光源	單色同軸光源
Mark點識別重復(fù)性(μm)	0.1
Mark點識別對位精度(μm)	<0.5
大行程X軸滑臺行程（mm）	400
大行程Y軸滑臺行程（mm）	200
大行程重復(fù)定位精度（μm）	1
大行程運動分辨率（μm）	±1
精密對位X軸滑臺行程（mm）	10
精密對位Y軸滑臺行程（mm）	10
精密對位Z軸滑臺行程（mm）	20
精密對位線性維度單向重復(fù)定位精度（μm）	±1
精密對位線性運動分辨率（μm）	0.1
精密對位θZ軸滑臺行程（°）	5
晶圓工位（個）	2
晶圓真空吸附通道（路）	4

關(guān)鍵詞：機(jī)器視覺顯微鏡

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗設(shè)備

北京卓立漢光儀器有限公司

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