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4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

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更新時(shí)間：2023-06-29 14:27:16瀏覽次數(shù)：97次

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：4"高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4"石英管及高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵），是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（3"）的退火而設(shè)計(jì)。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為50℃/s，設(shè)有30段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過RS485口和控制軟件可在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制和溫度曲線顯示。

控溫儀表操作視頻

產(chǎn)品型號(hào)	4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶6mm雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、石英樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，使樣品裝載更加容易。 2、樣品架上放置76mm的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率，可使樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性（±5℃）。 3、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性。 4、采用PID自動(dòng)溫度控制，30段程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：爐體單相208V-240V，50Hz/60Hz，10KW 　　　　　高真空系統(tǒng)AC110V/220V任意切換，50Hz/60Hz，110W 2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來石鋼構(gòu) 3、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長380mm 4、樣品架：76mm 5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm 6、加熱區(qū)：102mm×305mm，均勻性±5℃ 7、熱偶：K型熱偶 8、溫度：溫度1100℃，額定溫度1000℃，在1000℃-1100℃下保溫時(shí)間不得超過600s 9、控溫精度：±0.5℃ 10、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s 11、高真空系統(tǒng)氣動(dòng)時(shí)間：2min 12、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中） 13、真空法蘭：KF-D25，配有兩個(gè)高溫O型圈密封 14、流量計(jì)：16ml/min-160ml/min 15、前級(jí)泵流速：在10mbar狀態(tài)下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz
產(chǎn)品規(guī)格	爐體：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg 高真空系統(tǒng)：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg